sputtering እና ሽፋን ማገጃ ፊልም 1.Beneficial. በኤሌክትሮል ፖላሪቲ ውስጥ ያለው ፈጣን ለውጥ የማያስተላልፍ ፊልሞችን ለማግኘት የኢንሱሌሽን ኢላማዎችን በቀጥታ ለመርጨት ሊያገለግል ይችላል። የዲሲ የኃይል ምንጭ የኢንሱሌሽን ፊልምን ለመርጨት እና ለማስቀመጥ የሚያገለግል ከሆነ የኢንሱሌሽን ፊልሙ አወንታዊ ionዎችን ወደ ካቶድ እንዳይገቡ ይከለክላል ፣ ይህም ለመበስበስ እና ለማብራት የተጋለጠ አዎንታዊ ion ክምችት ንጣፍ ይፈጥራል። የኢንሱሌሽን ፊልም በአኖድ ላይ ካስቀመጠ በኋላ ኤሌክትሮኖች ወደ anode እንዳይገቡ ታግደዋል, በዚህም ምክንያት የአኖድ መጥፋት ክስተትን ያስከትላል. የኢንሱሌሽን ፊልምን ለመልበስ የ RF የኃይል ምንጭን በሚጠቀሙበት ጊዜ ኤሌክትሮዶች በተለዋዋጭ የፖላራይተስ ምክንያት በካቶድ ላይ የተከማቹ አወንታዊ ክፍያዎች በዑደቱ የመጀመሪያ አጋማሽ ላይ በኤሌክትሮኖች ይገለላሉ እና በአኖድ ላይ የተከማቹ ኤሌክትሮኖች በአዎንታዊ ionዎች ይገለላሉ ። በሁለተኛው ግማሽ ዑደት ውስጥ ያለው ተቃራኒው ሂደት በኤሌክትሮል ላይ ያለውን ክምችት ማስወገድ ይችላል, እና የማፍሰሻ ሂደቱ በመደበኛነት ሊቀጥል ይችላል.
2.High ድግግሞሽ ኤሌክትሮዶች ራስን አድልዎ ያመነጫሉ. ጠፍጣፋ ኤሌክትሮድ መዋቅር ባለው የ RF መሳሪያ ውስጥ, በወረዳው ውስጥ ያሉት ከፍተኛ-ድግግሞሽ ኤሌክትሮዶች የአቅም ማያያዣ ማዛመጃን በመጠቀም የራስ አድልዎ ቮልቴጅ ይፈጥራሉ. በኤሌክትሮን ፍልሰት ፍጥነት እና በ ion ፍልሰት ፍጥነት መካከል ያለው ትልቅ ልዩነት ኤሌክትሮኖች በተወሰነ ጊዜ ውስጥ ከፍተኛ የእንቅስቃሴ ፍጥነትን እንዲያገኙ ያስችላቸዋል ፣ ዝግተኛ ion ፍጥነት ደግሞ ክምችት ያስከትላል። የከፍተኛ-ድግግሞሽ ኤሌክትሮል በአብዛኛዎቹ በእያንዳንዱ ዑደት ላይ አሉታዊ እምቅ አቅም አለው, ይህም በመሬቱ ላይ አሉታዊ ቮልቴጅ ያስከትላል, ይህም የከፍተኛ ድግግሞሽ ኤሌክትሮድ ራስን የማድላት ክስተት ነው.
በ RF መልቀቅ ኤሌክትሮድ የሚፈጠረው ራስን የማድላት የካቶድ ኤሌክትሮድ የ ion bombardmentን ያፋጥናል ሁለተኛ ደረጃ ኤሌክትሮኖች የመልቀቂያ ሂደቱን ያለማቋረጥ ያስወጣል እና የራስ አድልዎ በዲሲ ፍካት ፈሳሽ ውስጥ ካለው የካቶድ ጠብታ ጋር ተመሳሳይ ሚና ይጫወታል። ምንም እንኳን የ RF ሃይል አቅርቦትን ቢጠቀሙም, ከፍተኛ-ድግግሞሹ ኤሌክትሮድ ከ 500-1000 ቮ በደረሰው በራስ አድልዎ ቮልቴጅ ምክንያት ፍሰቱ የተረጋጋ ሊሆን ይችላል.
3. የራዲዮ ፍሪኩዌንሲ ፈሳሽ በከባቢ አየር ውስጥ ባለው የግፊት ፍካት ፈሳሽ እና በኋላ ላይ በተዋወቀው የዲኤሌክትሪክ ማገጃ ፍካት ውስጥ ትልቅ ሚና ይጫወታል።
የልጥፍ ሰዓት፡- ጁን-21-2023