የሙቅ ሽቦ ቅስት የተሻሻለ የፕላዝማ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ ቴክኖሎጂ

የሙቅ ሽቦ ቅስት የተሻሻለው የፕላዝማ ኬሚካላዊ ትነት የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ የሙቅ ሽቦውን አርክ ሽጉጥ በመጠቀም አርክ ፕላዝማን ለማስለቀቅ፣ እንደ ሙቅ ሽቦ አርክ PECVD ቴክኖሎጂ አህጽሮታል። ይህ ቴክኖሎጂ ትኩስ ሽቦ አርክ ሽጉጥ ion ልባስ ቴክኖሎጂ ጋር ተመሳሳይ ነው, ነገር ግን ልዩነቱ ትኩስ ሽቦ አርክ ሽጉጥ ion ሽፋን የተገኘ ድፍን ፊልም ሙቅ ሽቦ አርክ ሽጉጥ የሚለቀቀውን የኤሌክትሮማግኔቲክ ፍሰት የሚጠቀም ሲሆን ክሩሺብል ውስጥ ያለውን ብረት ለማሞቅ እና ለማትነን, ሙቅ ሽቦ ቅስት ብርሃን PECVD ደግሞ ምላሽ ጋዞች ጋር መመገብ ነው, እንደ CH4 እና H2, ፊልም በማስቀመጥ ላይ ይውላሉ. በሙቅ ሽቦ አርክ ሽጉጥ በሚወጣው ከፍተኛ-ጥቅጥቅ ያለ የአርክ ፍሳሽ ፍሰት ላይ በመተማመን ምላሽ ሰጪ ጋዝ ionዎች የጋዝ ionዎችን ፣ አቶሚክ ionዎችን ፣ ንቁ ቡድኖችን እና የመሳሰሉትን ጨምሮ የተለያዩ ንቁ ቅንጣቶችን ለማግኘት በጣም ያስደስታቸዋል።

በሙቅ ሽቦ አርክ ፒኢሲቪዲ መሳሪያ ውስጥ፣ ሁለት ኤሌክትሮማግኔቲክ መጠምጠሚያዎች ከሽፋኑ ክፍል ውጭ አሁንም ተጭነዋል፣ ይህም ከፍተኛ መጠን ያለው የኤሌክትሮን ፍሰት ወደ anode በሚንቀሳቀስበት ጊዜ እንዲሽከረከር በማድረግ በኤሌክትሮን ፍሰት እና በምላሽ ጋዝ መካከል የመጋጨት እና ionization እድል ይጨምራል። የኤሌክትሮማግኔቲክ መጠምጠሚያው የጠቅላላውን የማስቀመጫ ክፍል የፕላዝማ መጠን ለመጨመር ወደ ቅስት አምድ ሊጣመር ይችላል። በአርክ ፕላዝማ ውስጥ የእነዚህ ንቁ ቅንጣቶች እፍጋት ከፍተኛ ነው ፣ ይህም የአልማዝ ፊልሞችን እና ሌሎች የፊልም ሽፋኖችን በስራው ላይ ለማስቀመጥ ቀላል ያደርገዋል።

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዜንዋ ቴክኖሎጂ፣ አየኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.