የፊልም ምስረታ ላይ ተጽዕኖ የሚያሳድሩ ምክንያቶች ምዕራፍ 1

(1) የሚረጭ ጋዝ። የሚረጨው ጋዝ ከፍተኛ የመራቢያ ምርት ፣ ለታለመው ቁሳቁስ የማይመች ፣ ርካሽ ፣ ከፍተኛ ንፅህናን ለማግኘት ቀላል እና ሌሎች ባህሪያት ሊኖረው ይገባል። በአጠቃላይ ፣ አርጎን በጣም ጥሩው ፈሳሽ ጋዝ ነው።

(2) የቮልቴጅ እና የቮልቴጅ ቮልቴሽን የሚፈነጥቅ. እነዚህ ሁለቱ መመዘኛዎች በፊልሙ ባህሪያት ላይ ጠቃሚ ተጽእኖ አላቸው, የቮልቴጅ መጨናነቅ በተቀማጭ መጠን ላይ ብቻ ሳይሆን በተከማቸ ፊልም መዋቅር ላይም ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራል. Substrate እምቅ በቀጥታ በሰው መርፌ ያለውን የኤሌክትሮን ወይም ion ፍሰት ላይ ተጽዕኖ. ንጣፉ መሬት ላይ ከሆነ, በተመጣጣኝ ኤሌክትሮኖች ቦምብ ይደረግበታል; የ substrate ታግዷል ከሆነ, እገዳው እምቅ V1 መሬት ጋር በተያያዘ በትንሹ አሉታዊ እምቅ ለማግኘት ትንሽ አሉታዊ እምቅ ለማግኘት ፍካት ቦታ ላይ ነው, እና substrate V2 ዙሪያ ያለውን የፕላዝማ እምቅ ከ substrate አቅም በላይ ከፍ ያለ መሆን, ይህም ኤሌክትሮኖች እና አዎንታዊ ions መካከል ቦምብ የተወሰነ ደረጃ ያስገኛል ይህም የፊልም ውፍረት, ስብጥር እና ሌሎች ባህሪያት ላይ ለውጦች ምክንያት, ምክንያት, የፊልሙ ውፍረት, ስብጥር እና ሌሎች ባህርያት ላይ ለውጥ ያስከትላል ከሆነ, bias ቮልቴጁ በዓላማ ከተተገበረ. የኤሌክትሮኖች ወይም ionዎች መቀበል, ንጣፉን ማጽዳት እና የፊልም ማጣበቂያውን ማሻሻል ብቻ ሳይሆን የፊልም አወቃቀሩን ይለውጣል. በሬዲዮ ፍሪኩዌንሲው sputtering ሽፋን ውስጥ, የኦርኬስትራ ሽፋን ሲደመር ዲሲ አድሏዊ ዝግጅት: dielectric ሽፋን እና ማስተካከያ አድሏዊነት.

(3) የከርሰ ምድር ሙቀት. Substrate የሙቀት መጠን በቀጥታ substrate ላይ የተቀማጭ አተሞች እንቅስቃሴ ላይ ተጽዕኖ, በዚህም ምክንያት ፊልም, መዋቅር, አማካይ የእህል መጠን, ክሪስታል ዝንባሌ እና አለመሟላት ያለውን ስብጥር የሚወስነው ይህም ምክንያት ነው, በፊልሙ ውስጣዊ ውጥረት ላይ የበለጠ ተጽዕኖ አለው.

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ