Ohun elo naa ni akọkọ gba ifitonileti oru kẹmika lati mura fiimu oxide, eyiti o ni awọn abuda ti oṣuwọn ifisilẹ iyara ati didara fiimu giga. Bi fun eto ohun elo, ọna ilẹkun ilọpo meji ni a lo lati mu ilọsiwaju imudara, ati eto ipese gaasi omi tuntun ti gba lati rii daju iduroṣinṣin ati ṣiṣan iṣakoso ati rii daju iduroṣinṣin ilana naa ni imunadoko. Fiimu ti a pese sile nipasẹ ohun elo ni idena omi oru omi to dara ati akoko iduroṣinṣin to gun ni idanwo farabale.
Ohun elo naa le lo si irin alagbara, irin elekitirola / awọn ẹya ṣiṣu, gilasi, awọn ohun elo amọ ati awọn ohun elo miiran, gẹgẹbi awọn ọja itanna, awọn ilẹkẹ ina LED, awọn ipese iṣoogun ati awọn ọja miiran ti o nilo resistance ifoyina. Fiimu idena SiOx ti pese sile ni pataki lati dina omi oru ni imunadoko, ṣe idiwọ ipata ati ifoyina, ati ilọsiwaju igbesi aye ọja.
| Awọn awoṣe iyan | akojọpọ iyẹwu iwọn |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |