No.1 TGV Gilasi Nipasẹ Iho Akopọ Technology Akopọ
TGV Gilasi Nipasẹ Iho aso jẹ imọ-ẹrọ iṣakojọpọ microelectronic ti n yọ jade ti o pẹlu ṣiṣẹda awọn iho-iho ni awọn sobusitireti gilasi ati didẹ awọn odi inu wọn lati ṣaṣeyọri awọn isopọ itanna iwuwo giga. Ti a ṣe afiwe si TSV ti aṣa (Nipasẹ Silicon Via) ati awọn sobusitireti Organic, gilasi TGV nfunni awọn anfani bii pipadanu ifihan agbara kekere, akoyawo giga, ati iduroṣinṣin igbona to dara julọ. Awọn ohun-ini wọnyi jẹ ki TGV dara fun awọn ohun elo ni ibaraẹnisọrọ 5G, apoti optoelectronic, awọn sensọ MEMS, ati diẹ sii.
No.2 Awọn ifojusọna Ọja: Kini idi ti TGV Gilasi Gbigba Ifarabalẹ?
Pẹlu idagbasoke iyara ti ibaraẹnisọrọ igbohunsafẹfẹ-giga, isọpọ optoelectronic, ati awọn imọ-ẹrọ iṣakojọpọ ilọsiwaju, ibeere fun gilasi TGV n pọ si ni imurasilẹ:
5G ati Ibaraẹnisọrọ Millimeter-Wave: Awọn abuda pipadanu kekere ti gilasi TGV jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun awọn ẹrọ RF igbohunsafẹfẹ giga-giga gẹgẹbi awọn eriali ati awọn asẹ.
Iṣakojọpọ Optoelectronic: akoyawo giga ti gilasi jẹ anfani fun awọn ohun elo bii awọn fọto ohun alumọni ati LiDAR.
Iṣakojọpọ sensọ MEMS: gilasi TGV n jẹ ki awọn asopọ asopọ iwuwo pọ si, imudara miniaturization ati iṣẹ awọn sensosi.
Iṣakojọpọ Semiconductor To ti ni ilọsiwaju: Pẹlu igbega ti imọ-ẹrọ Chiplet, awọn sobusitireti gilasi TGV di agbara pataki ni iṣakojọpọ iwuwo giga.
No.3 TGV Gilasi PVD Ti a bo Alaye ilana
Metallization ti TGV Gilasi PVD Coating je fifi ohun elo conductive sori awọn akojọpọ Odi ti awọn vias lati se aseyori itanna interconnections. Sisan ilana aṣoju pẹlu:
1. TGV Gilasi Nipasẹ Ibiyi Iho: Liluho laser (UV / CO₂ lasers), etching tutu, tabi etching gbẹ ni a lo lati ṣẹda nipasẹ TGV, ti o tẹle nipa mimọ.
2. Itọju Ilẹ: Plasma tabi itọju kemikali ni a lo lati jẹki ifaramọ laarin gilasi ati Layer metallization.
3. Igbẹhin Layer irugbin: PVD (Deposition Vapor Deposition) tabi CVD (Chemical Vapor Deposition) ni a lo lati fi ohun elo irugbin irin (fun apẹẹrẹ, Ejò, titanium / Ejò, palladium) lori gilasi nipasẹ awọn odi iho.
4. Electroplating: Ejò Conductive ti wa ni nile lori awọn irugbin Layer nipasẹ electroplating lati se aseyori kekere-resistance interconnections.
5. Lẹhin itọju: A ti yọ irin ti o pọju kuro, ati pasifiti oju-aye ni a ṣe lati mu igbẹkẹle sii.
No.4 ilana italaya: Ipenija ti TGV Gilasi Jin Iho Machine
Pelu awọn ifojusọna ti o ni ileri, TGV Glass Deep Hole Coating Machine dojukọ ọpọlọpọ awọn italaya imọ-ẹrọ:
1.Uniformity ti TGV Gilasi Deep Hole Coating: Gilasi Deep Hole pẹlu awọn ipin ti o ga julọ (5: 1 si 10: 1) nigbagbogbo n jiya lati ikojọpọ irin ni ẹnu-ọna nipasẹ ẹnu-ọna ati ailopin kikun ni isalẹ.
2. Igbẹhin Layer irugbin: Gilasi jẹ insulator, ṣiṣe awọn ti o nija lati beebe kan ga-didara conductive irugbin Layer lori awọn nipasẹ Odi.
3. Iṣakoso Wahala: Awọn iyatọ ninu awọn imugboroja imugboroja gbona ti irin ati gilasi le ja si gbigbọn tabi fifọ.
4. Adhesion ti Gilasi Jin Iho Layer Layer: Awọn dan dada ti gilasi esi ni alailagbara irin adhesion, necessitating iṣapeye dada itọju lakọkọ.
5. Ibi iṣelọpọ ati Iṣakoso iye owo: Imudara iṣiṣẹ iṣelọpọ ti iṣelọpọ ati idinku awọn idiyele jẹ pataki fun iṣowo ti imọ-ẹrọ TGV.
No.5 Zhenhua Vacuum's TGV Gilasi PVD Solusan Ohun elo Ibo - Iso aso inu Iduro ni ila
Awọn anfani Ohun elo:
1. Iyasoto Gilasi Nipasẹ-Iho Metallization Coating ọna ẹrọ
Gilasi ohun-ini ti Zhenhua Vacuum Nipasẹ-Iho Metallization Imọ-ẹrọ le mu Gilasi Nipasẹ-Iho pẹlu awọn ipin abala ti o to 10:1, paapaa fun awọn iho kekere bi 30 microns.
2. Aṣaṣe fun Awọn titobi oriṣiriṣi
Ṣe atilẹyin awọn sobusitireti gilasi ti awọn titobi oriṣiriṣi, pẹlu 600 × 600mm, 510 × 515mm, tabi tobi julọ.
3. Irọrun ilana
Ni ibamu pẹlu adaṣe tabi awọn ohun elo fiimu tinrin iṣẹ bii Cu, Ti, W, Ni, ati Pt, pade awọn ibeere ohun elo oniruuru fun iṣiṣẹ ati ipata ipata.
4. Idurosinsin Performance ati Easy Itọju
Ti ni ipese pẹlu eto iṣakoso oye fun atunṣe paramita laifọwọyi ati ibojuwo akoko gidi ti isokan sisanra fiimu. Apẹrẹ apọjuwọn ṣe idaniloju itọju irọrun ati akoko idinku.
Ohun elo Ohun elo: Dara fun TGV / TSV / TMV to ti ni ilọsiwaju apoti, o le se aseyori nipasẹ-iho irugbin Layer ti a bo pẹlu iho ijinle ratio ≥ 10: 1.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹTGV Gilasi Nipasẹ Iho ndan Machine olupeseZhenhua Vacuum
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-07-2025