1.Ion beam iranwo ifisun ni pato nlo kekere agbara ion nibiti lati ran ni dada iyipada ti awọn ohun elo.
(1) Awọn abuda ti ifisilẹ iranlọwọ ion
Lakoko ilana ti a bo, awọn patikulu fiimu ti a fi silẹ nigbagbogbo ni bombarded nipasẹ awọn ions ti o gba agbara lati orisun ion lori dada ti sobusitireti lakoko ti a bo pẹlu awọn opo ion ti o gba agbara.
(2) Ipa ti ion iranlọwọ ifisilẹ
Awọn ions agbara ti o ga julọ bombard awọn patikulu fiimu ti o ni ihamọ ni eyikeyi akoko; Nipa gbigbe agbara, awọn patikulu ti a fi silẹ gba agbara kainetik nla, nitorinaa imudarasi ofin ti iparun ati idagbasoke; Ṣe agbejade ipa ipapọ lori awọ ara awo ilu nigbakugba, ṣiṣe fiimu naa dagba diẹ sii iwuwo; Ti o ba ti ifaseyin gaasi ions ti wa ni itasi, a stoichiometric yellow Layer le wa ni akoso lori dada ti awọn ohun elo, ko si si ni wiwo laarin awọn yellow Layer ati awọn sobusitireti.
2. Ion orisun fun ion tan ina iranlọwọ ifisilẹ
Awọn abuda ti ion tan ina iranlọwọ iwadi oro ni wipe awọn fiimu Layer awọn ọta (awọn patikulu iwadi oro) ti wa ni continuously bombarded nipa kekere agbara ions lati ion orisun lori dada ti awọn sobusitireti, ṣiṣe awọn fiimu be gan ipon ati ki o imudarasi awọn iṣẹ ti awọn fiimu Layer. Agbara E ti ion tan ina jẹ ≤ 500eV. Awọn orisun ion ti o wọpọ pẹlu: orisun ion Kauffman, orisun ion Hall, orisun ion Layer anode, orisun ion ṣofo cathode Hall, orisun ion igbohunsafẹfẹ redio, ati bẹbẹ lọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹta-30-2023