Ifaseyin magnetron sputtering tumo si wipe gaasi ifaseyin ti wa ni ipese lati fesi pẹlu sputtered patikulu ninu awọn ilana ti sputtering lati gbe awọn kan yellow film. O le pese gaasi ifaseyin lati fesi pẹlu awọn sputtering yellow ibi-afẹde ni akoko kanna, ati ki o tun le pese awọn ifaseyin gaasi lati fesi pẹlu awọn sputtering irin tabi alloy afojusun ni akoko kanna lati mura a yellow film pẹlu a fi fun kemikali ratio.The abuda kan ti ifaseyin magnetron sputtering lati mura awọn fiimu agbo ni:
(1) Awọn ohun elo ibi-afẹde ti a lo fun ifaseyin magnetron sputtering (ibi-afẹde ẹyọkan tabi ibi-afẹde eroja-pupọ) ati awọn gaasi ifaseyin rọrun lati gba mimọ to gaju, eyiti o ṣe iranlọwọ fun igbaradi ti awọn fiimu idapọmọra mimọ-giga.
(2) Ni ifaseyin magnetron sputtering, nipa Siṣàtúnṣe iwọn kemikali ipin tabi ti kii-kemikali ipin ti yellow fiimu le wa ni pese sile, ki lati se aseyori awọn idi ti fiofinsi awọn abuda fiimu nipa satunṣe awọn tiwqn ti awọn fiimu.
(3) Iwọn otutu ti sobusitireti ni gbogbogbo ko ga ju lakoko ilana ifisilẹ magnetron ifaseyin, ati ilana ṣiṣe fiimu nigbagbogbo ko nilo ki sobusitireti kikan si awọn iwọn otutu ti o ga pupọ, nitorinaa awọn ihamọ diẹ wa lori ohun elo sobusitireti.
(4) sputtering magnetron ifaseyin jẹ o dara fun igbaradi ti awọn fiimu tinrin isokan agbegbe nla, ati pe o le ṣaṣeyọri iṣelọpọ iṣelọpọ pẹlu iṣelọpọ lododun ti awọn mita mita miliọnu kan ti ibora lati ẹrọ kan. Ni ọpọlọpọ igba, iru fiimu naa le yipada nipasẹ yiyipada ipin ti gaasi ifaseyin si gaasi inert lakoko sputtering. Fun apẹẹrẹ, fiimu naa le yipada lati irin si semikondokito tabi ti kii ṣe irin.
——Nkan yii niigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua ti tu silẹ
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-31-2023