נומער 1 TGV גלאז דורכגיין לאָך קאָוטינג טעכנאָלאָגיע איבערבליק
TGV גלאז דורך לאָך קאָוטינג איז אַן אויפקומענדיקע מיקראָעלעקטראָניק פּאַקאַדזשינג טעכנאָלאָגיע וואָס ינוואַלווז שאַפֿן דורכ-לעכער אין גלאז סאַבסטראַטן און מעטאַליזירן זייער ינער ווענט צו דערגרייכן הויך-דענסיטי עלעקטרישע ינטערקאַנעקשאַנז. קאַמפּערד צו טראדיציאנעלן TSV (דורך סיליקאָן וויאַ) און אָרגאַניק סאַבסטראַטן, TGV גלאז אָפפערס אַדוואַנידזשיז אַזאַ ווי נידעריק סיגנאַל אָנווער, הויך טראַנספּעראַנסי, און ויסגעצייכנט טערמאַל פעסטקייַט. די פּראָפּערטיעס מאַכן TGV פּאַסיק פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז אין 5G קאָמוניקאַציע, אָפּטאָעלעקטראָניק פּאַקאַדזשינג, MEMS סענסאָרס, און מער.
נומער 2 מאַרק פּראַספּעקטן: פארוואס באַקומט TGV גלאָז אויפמערקזאַמקייט?
מיט דער שנעלער אַנטוויקלונג פון הויך-פרעקווענץ קאָמוניקאַציע, אָפּטאָעלעקטראָניק אינטעגראַציע, און אַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג טעקנאַלאַדזשיז, וואַקסט די פאָדערונג פֿאַר TGV גלאָז קעסיידער:
5G און מילימעטער-כוואַליע קאָמוניקאַציע: די נידעריק-פאַרלוסט קעראַקטעריסטיקס פון TGV גלאז מאַכן עס ידעאַל פֿאַר הויך-פרעקווענץ RF דעוויסעס אַזאַ ווי אַנטענעס און פילטערס.
אָפּטאָעלעקטראָניק פּאַקאַדזשינג: די הויך טראַנספּאַרענץ פון גלאָז איז אַדוואַנטיידזשאַס פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז ווי סיליקאָן פאָטאָניקס און לידאַר.
MEMS סענסאָר פּאַקאַדזשינג: TGV גלאָז ערמעגלעכט הויך-דענסיטי ינטערקאַנעקשאַנז, פֿאַרבעסערן די מיניאַטוריזאַציע און פאָרשטעלונג פון סענסאָרס.
אַוואַנסירטע האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקאַדזשינג: מיטן אויפשטייג פון טשיפּלעט טעכנאָלאָגיע, האַלטן TGV גלאָז סאַבסטראַטן אַ באַטייטיק פּאָטענציעל אין הויך-דענסיטי פּאַקאַדזשינג.
נומ. 3 TGV גלאז PVD קאָוטינג דעטאַלירטער פּראָצעס
די מעטאַליזאַציע פון TGV גלאָז PVD קאָוטינג באַשטייט פון אַוועקלייגן קאַנדאַקטיוו מאַטעריאַלן אויף די ינער ווענט פון די וויאַס צו דערגרייכן עלעקטרישע פֿאַרבינדונגען. דער טיפּישער פּראָצעס פֿלוס כולל:
1. TGV גלאז דורכגיין לאָך פאָרמאַציע: לאַזער דרילינג (UV/CO₂ לאַזערס), נאַס עטשינג, אָדער טרוקן עטשינג ווערט גענוצט צו שאַפֿן TGV וויאַס, נאכגעגאנגען דורך רייניקונג.
2. אויבערפלאַך באַהאַנדלונג: פּלאַזמע אָדער כעמישע באַהאַנדלונג ווערט געווענדט צו פֿאַרבעסערן די אַדכיזשאַן צווישן דעם גלאָז און די מעטאַליזאַציע שיכט.
3. זוימען שיכט דעפאזיציע: PVD (פיזישע פארע דעפאזיציע) אדער CVD (כעמישע פארע דעפאזיציע) ווערט גענוצט צו דעפאזירן א מעטאל זוימען שיכט (למשל, קופער, טיטאניום/קופער, פאלאדיום) אויף די גלאז דורכגעלאנגענע ווענט.
4. עלעקטראָפּלייטינג: קאַנדאַקטיוו קופּער ווערט דעפּאַזיטירט אויף דער זוימען שיכט דורך עלעקטראָפּלייטינג צו דערגרייכן נידעריק-קעגנשטעל ינטערקאַנעקשאַנז.
5. נאך באַהאַנדלונג: איבעריקע מעטאַל ווערט אַוועקגענומען, און ייבערפלאַך פּאַסיוואַציע ווערט דורכגעפירט צו פֿאַרבעסערן די פאַרלעסלעכקייט.
נומ. 4 פּראָצעס טשאַלאַנדזשיז: טשאַלאַנדזשיז פון TGV גלאז טיף לאָך קאָוטינג מאַשין
טראָץ אירע פּראָמיסינג פּראַספּעקטן, שטייט די TGV גלאָז טיף לאָך קאָוטינג מאַשין פאר עטלעכע טעכנישע טשאַלאַנדזשיז:
1. איינהייטלעכקייט פון TGV גלאז טיף לאָך קאָוטינג: גלאז טיף לאָך מיט הויך אַספּעקט פאַרהעלטענישן (5:1 צו 10:1) אָפט ליידן פון מעטאַל אַקיומיאַליישאַן בייַ די וויאַ אַרייַנגאַנג און ניט גענוגיק פילונג בייַ די דנאָ.
2. זוימען שיכט דעפּאַזישאַן: גלאָז איז אַן איזאָלאַטאָר, מאַכנדיג עס שווער צו דעפּאַזיטירן אַ הויך-קוואַליטעט קאַנדאַקטיוו זוימען שיכט אויף די וויאַ ווענט.
3. סטרעס קאנטראל: אונטערשיידן אין די טערמישע אויסברייטונג קאעפיציענטן פון מעטאל און גלאז קענען פירן צו פארדרייען אדער קראַקינג.
4. אדכעזיע פון גלאז טיף לאך באַדעקונג לייַערס: די גלאַט ייבערפלאַך פון גלאז רעזולטאַטן אין שוואַך מעטאַל אַדכעזשאַן, וואָס נייטיקט אָפּטימיזירטע ייבערפלאַך באַהאַנדלונג פּראַסעסאַז.
5. מאַסע פּראָדוקציע און קאָסטן קאָנטראָל: פֿאַרבעסערן מעטאַליזאַציע עפֿעקטיווקייט און רעדוצירן קאָסטן זענען קריטיש פֿאַר די קאָמערציאַליזאַציע פון TGV טעכנאָלאָגיע.
נומער 5 זשענהואַ וואַקוום'ס TGV גלאָז PVD קאָוטינג עקוויפּמענט לייזונג – האָריזאָנטאַל קאָוטינג אין-ליין קאָוטער
עקוויפּמענט אַדוואַנטאַגעס:
1. עקסקלוסיווע גלאז דורכ-לאָך מעטאַליזאַציע קאָוטינג טעכנאָלאָגיע
זשענהואַ וואַקוום'ס פּראַפּריעטאַרי גלאָז דורכ-לאָך מעטאַליזאַציע קאָוטינג טעכנאָלאָגיע קען שעפּן גלאָז דורכ-לאָך מיט אַספּעקט פאַרהעלטענישן פון ביז 10:1, אפילו פֿאַר קליינע אַפּערטורן אַזוי קליין ווי 30 מיקראָן.
2. קאַסטאַמייזאַבאַל פֿאַר פאַרשידענע סיזעס
שטיצט גלאז סאַבסטראַטן פון פֿאַרשידענע סיזעס, אַרייַנגערעכנט 600×600 מם, 510×515 מם, אָדער גרעסער.
3. פּראָצעס פלעקסיבילאַטי
קאָמפּאַטיבל מיט קאַנדאַקטיווע אָדער פאַנגקשאַנאַלע דין-פילם מאַטעריאַלן ווי Cu, Ti, W, Ni, און Pt, וואָס טרעפן פֿאַרשידענע אַפּלאַקיישאַן רעקווירעמענץ פֿאַר קאַנדאַקטיוויטי און קעראָוזשאַן קעגנשטעל.
4. סטאַביל פאָרשטעלונג און גרינג וישאַלט
אויסגעשטאַט מיט אַן אינטעליגענטער קאָנטראָל סיסטעם פֿאַר אויטאָמאַטישער פּאַראַמעטער אַדזשאַסטמענט און רעאַל-צייט מאָניטאָרינג פון פילם גרעב יוניפאָרמאַטי. מאַדזשאַלער פּלאַן ינשורז גרינג וישאַלט און רידוסט דאַונטיים.
אַפּליקאַציע פאַרנעם: פּאַסיק פֿאַר TGV/TSV/TMV אַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג, עס קען דערגרייכן דורכ-לאָך זוימען שיכטע קאָוטינג מיט לאָך טיפקייַט פאַרהעלטעניש ≥ 10:1.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךTGV גלאז דורך לאָך קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטזשענהואַ וואַקוום
פּאָסט צייט: 7טן מערץ 2025