יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאַזישאַן און נידעריק ענערגיע יאָן מקור

1. יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאָזיציע ניצט דער הויפּט נידעריק-ענערגיע יאָן שטראַלן צו אַרוישעלפן אין דער ייבערפלאַך מאָדיפיקאַציע פון ​​מאַטעריאַלן.

(1) קעראַקטעריסטיקס פון יאָן-געשטיצטע דעפּאָזיציע

בעת דעם באַשיטונג פּראָצעס, ווערן די אָפּגעלייגטע פֿילם פּאַרטיקלען קאָנטינויִערלעך באַמבאַרדירט ​​מיט געלודענע יאָנען פֿון דער יאָן מקור אויף דער ייבערפֿלאַך פֿון דעם סאַבסטראַט בשעת זיי ווערן באַדעקט מיט געלודענע יאָן שטראַלן.

(2) די ראלע פון ​​יאָן-געשטיצטע דעפּאָזיציע

הויך-ענערגיע יאָנען באַמבאַרדירן די לויז געבונדענע פילם פּאַרטיקלען אין יעדער צייט; דורך טראַנספערירן ענערגיע, די דעפּאַזיטיד פּאַרטיקלען באַקומען גרעסערע קינעטישע ענערגיע, דערמיט ימפּרוווינג די געזעץ פון נוקלעאַטיאָן און וווּקס; פּראָדוצירן אַ קאָמפּאַקשאַן ווירקונג אויף די מעמבראַן געוועב אין יעדער צייט, מאכן די פילם וואַקסן מער געדיכט; אויב רעאַקטיוו גאַז יאָנען זענען ינדזשעקטיד, אַ סטאָיכיאָמעטריק קאַמפּאַונד שיכטע קענען זיין געשאפן אויף די ייבערפלאַך פון די מאַטעריאַל, און עס איז קיין צובינד צווישן די קאַמפּאַונד שיכטע און די סאַבסטראַט.

2. יאָן מקור פֿאַר יאָן שטראַל אַסיסטירט דעפּאָזיציע

די כאַראַקטעריסטיק פון יאָן שטראַל אַסיסטירט דעפּאָזיציע איז אַז די פילם שיכט אַטאָמען (דעפּאָזיציע פּאַרטיקאַלז) ווערן קאַנטיניואַסלי באָמבאַרדירט ​​דורך נידעריק ענערגיע יאָנען פון די יאָן מקור אויף דער ייבערפלאַך פון די סאַבסטראַט, מאכן די פילם סטרוקטור זייער געדיכט און ימפּרוווינג די פאָרשטעלונג פון די פילם שיכט. די ענערגיע E פון די יאָן שטראַל איז ≤ 500 eV. אָפט געניצט יאָן קוואלן אַרייַננעמען: קאַופמאַן יאָן מקור, האַלל יאָן מקור, אַנאָד שיכט יאָן מקור, ליידיק קאַטאָדע האַלל יאָן מקור, ראַדיאָ אָפטקייַט יאָן מקור, עטק.