רעאַקטיוו מאַגנעטראָן ספּאַטערינג מיינט אַז רעאַקטיוו גאַז ווערט צוגעשטעלט צו רעאַגירן מיט די ספּאַטערד פּאַרטיקאַלז אין דעם פּראָצעס פון ספּאַטערינג צו פּראָדוצירן אַ קאַמפּאַונד פילם. עס קען צושטעלן רעאַקטיוו גאַז צו רעאַגירן מיט די ספּאַטערינג קאַמפּאַונד ציל אין דער זעלביקער צייט, און קען אויך צושטעלן רעאַקטיוו גאַז צו רעאַגירן מיט די ספּאַטערינג מעטאַל אָדער צומיש ציל אין דער זעלביקער צייט צו צוגרייטן אַ קאַמפּאַונד פילם מיט אַ געגעבן כעמישער פאַרהעלטעניש. די קעראַקטעריסטיקס פון רעאַקטיוו מאַגנעטראָן ספּאַטערינג צו צוגרייטן קאַמפּאַונד פילמס זענען:
(1) די ציל מאַטעריאַלן געניצט פֿאַר רעאַקטיוו מאַגנעטראָן ספּאַטערינג (איין עלעמענט ציל אָדער מולטי-עלעמענט ציל) און רעאַקציע גאַזן זענען גרינג צו באַקומען הויך ריינקייט, וואָס איז קאַנדוסיוו צו דער צוגרייטונג פון הויך-ריינקייט קאַמפּאַונד פילמען.
(2) אין רעאַקטיוו מאַגנעטראָן ספּאַטערינג, דורך אַדזשאַסטינג די דעפּאַזישאַן פּראָצעס פּאַראַמעטערס, כעמישער פאַרהעלטעניש אָדער ניט-כעמישער פאַרהעלטעניש פון קאַמפּאַונד פילמען קען זיין צוגעגרייט, אַזוי ווי צו דערגרייכן די ציל פון רעגולירן די פילם קעראַקטעריסטיקס דורך אַדזשאַסטינג די זאַץ פון די פילם.
(3) די טעמפּעראַטור פון דעם סאַבסטראַט איז בכלל נישט צו הויך בעת דעם רעאַקטיוון מאַגנעטראָן ספּאַטערינג דעפּאַזישאַן פּראָצעס, און דער פילם פאָרמינג פּראָצעס פארלאנגט געוויינטלעך נישט אַז דער סאַבסטראַט זאָל ווערן געהייצט צו זייער הויכע טעמפּעראַטורן, אַזוי עס זענען ווייניקער באַגרענעצונגען אויף דעם סאַבסטראַט מאַטעריאַל.
(4) רעאַקטיוו מאַגנעטראָן ספּאַטערינג איז פּאַסיק פֿאַר דער צוגרייטונג פון גרויס-שטח האָמאָגענע דין פילמען, און קען דערגרייכן אינדוסטריאַליזירטע פּראָדוקציע מיט אַ יערלעך פּראָדוקציע פון איין מיליאָן קוואַדראַט מעטער פון קאָוטינג פון אַ איין מאַשין. אין פילע פאלן, קען די נאַטור פון די פילם ווערן געביטן דורך פשוט טוישן די פאַרהעלטעניש פון רעאַקטיוו גאַז צו ינערט גאַז בעשאַס ספּאַטערינג. למשל, קען די פילם ווערן געביטן פון מעטאַל צו האַלב-קאָנדוקטאָר אָדער ניט-מעטאַל.
——דער אַרטיקל האָטוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ באפרייט
פּאָסט צייט: 31סטן אויגוסט, 2023