Thiết bị chủ yếu sử dụng phương pháp lắng đọng hơi hóa học để tạo màng oxit, có đặc điểm là tốc độ lắng đọng nhanh và chất lượng màng cao. Về cấu trúc thiết bị, sử dụng cấu trúc cửa đôi để cải thiện hiệu suất kẹp, áp dụng hệ thống cung cấp khí lỏng mới nhất để đảm bảo lưu lượng ổn định và có thể kiểm soát được, đảm bảo hiệu quả tính ổn định của quy trình. Màng do thiết bị tạo ra có khả năng ngăn hơi nước tốt và thời gian ổn định lâu hơn trong thử nghiệm sôi.
Thiết bị có thể được áp dụng cho thép không gỉ, phần cứng mạ điện / các bộ phận nhựa, thủy tinh, gốm sứ và các vật liệu khác, chẳng hạn như sản phẩm điện tử, hạt đèn LED, vật tư y tế và các sản phẩm khác cần khả năng chống oxy hóa. Màng chắn SiOx chủ yếu được chuẩn bị để ngăn chặn hiệu quả hơi nước, chống ăn mòn và oxy hóa, đồng thời cải thiện tuổi thọ sản phẩm.
| Các mô hình tùy chọn | kích thước buồng bên trong |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |