1.Ion nurlari yordamida yotqizish asosan materiallarning sirtini o'zgartirishga yordam berish uchun past energiyali ion nurlaridan foydalanadi.
(1) Ion yordamida yotqizish xususiyatlari
Qoplash jarayonida yotqizilgan plyonka zarralari zaryadlangan ion nurlari bilan qoplangan holda substrat yuzasida ion manbasidan zaryadlangan ionlar tomonidan doimiy ravishda bombardimon qilinadi.
(2) Ion yordamida yotqizishning roli
Yuqori energiyali ionlar bo'shashmasdan bog'langan plyonka zarralarini istalgan vaqtda bombardimon qiladi; Energiyani uzatish orqali yotqizilgan zarralar ko'proq kinetik energiyaga ega bo'ladi va shu bilan yadrolanish va o'sish qonunini yaxshilaydi; Istalgan vaqtda membrana to'qimalariga siqilish effektini yaratib, plyonka yanada zichroq o'sadi; Agar reaktiv gaz ionlari yuborilsa, material yuzasida stexiometrik birikma qatlami hosil bo'lishi mumkin va birikma qatlami va substrat o'rtasida hech qanday interfeys mavjud emas.
2. Ion nurlari yordamida yotqizish uchun ion manbai
Ion nurlari yordamida cho'ktirishning o'ziga xos xususiyati shundaki, plyonka qatlami atomlari (cho'kma zarralari) doimiy ravishda substrat yuzasida ion manbasidan past energiya ionlari bilan bombardimon qilinadi, bu plyonka tuzilishini juda zich qiladi va kino qatlamining ish faoliyatini yaxshilaydi. Ion nurining energiyasi E ≤ 500eV ga teng. Odatda ishlatiladigan ion manbalariga quyidagilar kiradi: Kauffman ion manbai, Hall ion manbai, anod qatlami ion manbai, ichi bo'sh katod Hall ion manbai, radiochastota ion manbai va boshqalar.
Xabar berish vaqti: 2023 yil 30-iyun