Reaktiv magnetronli püskürtme, aralash plyonka hosil qilish uchun chayqalish jarayonida purkalgan zarralar bilan reaksiyaga kirishish uchun reaktiv gaz berilishini anglatadi. U bir vaqtning o'zida chayqaladigan birikma nishoni bilan reaksiyaga kirishish uchun reaktiv gaz bilan ta'minlashi mumkin, shuningdek, ma'lum bir kimyoviy nisbatga ega bo'lgan aralash plyonka tayyorlash uchun bir vaqtning o'zida püskürtme metall yoki qotishma nishoni bilan reaksiyaga kirishish uchun reaktiv gazni etkazib berishi mumkin. Murakkab plyonkalarni tayyorlash uchun reaktiv magnetronli püskürtme xususiyatlari:
(1) Reaktiv magnetronli püskürtme (bitta elementli maqsad yoki ko'p elementli maqsad) va reaksiya gazlari uchun ishlatiladigan maqsadli materiallar yuqori tozalikni olish oson, bu esa yuqori saflikdagi aralash plyonkalarni tayyorlashga yordam beradi.
(2) Reaktiv magnetronli purkashda, cho'kma jarayoni parametrlarini sozlash orqali, kimyoviy nisbat yoki aralash plyonkalarning kimyoviy bo'lmagan nisbati, plyonka tarkibini sozlash orqali kino xususiyatlarini tartibga solish maqsadiga erishish uchun tayyorlanishi mumkin.
(3) Reaktiv magnetronli purkash cho'kma jarayonida substratning harorati odatda juda yuqori emas va plyonka hosil qilish jarayoni odatda substratni juda yuqori haroratga qizdirishni talab qilmaydi, shuning uchun substrat materialida kamroq cheklovlar mavjud.
(4) Reaktiv magnetronli püskürtme keng maydonli bir hil yupqa plyonkalarni tayyorlash uchun javob beradi va bitta mashinadan yiliga bir million kvadrat metr qoplama ishlab chiqarish bilan sanoatlashtirilgan ishlab chiqarishga erishish mumkin. Ko'p hollarda plyonkaning tabiatini püskürtme paytida reaktiv gazning inert gazga nisbatini o'zgartirish orqali o'zgartirish mumkin. Misol uchun, filmni metalldan yarimo'tkazgichga yoki metall bo'lmaganga o'zgartirish mumkin.
——Ushbu maqola borvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Zhenxua ozod qilindi
Yuborilgan vaqt: 2023-yil 31-avgust