آئن بیم معاون جمع اور کم توانائی آئن ذریعہ

1. آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے میں بنیادی طور پر کم توانائی والے آئن بیم استعمال ہوتے ہیں تاکہ مواد کی سطح میں ترمیم کی جاسکے۔

(1) آئن معاون جمع کی خصوصیات

کوٹنگ کے عمل کے دوران، جمع شدہ فلم کے ذرات کو چارج شدہ آئن بیم کے ساتھ لیپت کرتے ہوئے سبسٹریٹ کی سطح پر آئن سورس سے چارج شدہ آئنوں کے ذریعے مسلسل بمباری کی جاتی ہے۔

(2) آئن معاون جمع کا کردار

اعلی توانائی کے آئن کسی بھی وقت ڈھیلے پابند فلمی ذرات پر بمباری کرتے ہیں۔ توانائی کی منتقلی سے، جمع شدہ ذرات زیادہ حرکی توانائی حاصل کرتے ہیں، اس طرح نیوکلیشن اور نمو کے قانون کو بہتر بناتے ہیں۔ کسی بھی وقت جھلی کے ٹشو پر ایک کمپیکشن اثر پیدا کریں، جس سے فلم زیادہ گھنی ہو جائے؛ اگر رد عمل والے گیس کے آئنوں کو انجکشن کیا جاتا ہے تو، مواد کی سطح پر ایک سٹوچیومیٹرک کمپاؤنڈ پرت بن سکتی ہے، اور کمپاؤنڈ پرت اور سبسٹریٹ کے درمیان کوئی انٹرفیس نہیں ہے۔

2. آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے کے لئے آئن ذریعہ

آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے کی خصوصیت یہ ہے کہ فلمی پرت کے ایٹم (جمع کرنے والے ذرات) سبسٹریٹ کی سطح پر آئن ماخذ سے کم توانائی والے آئنوں کے ذریعہ مسلسل بمباری کرتے ہیں، جس سے فلم کا ڈھانچہ بہت گھنا ہوتا ہے اور فلمی پرت کی کارکردگی کو بہتر بناتا ہے۔ آئن بیم کی توانائی E ≤ 500eV ہے۔ عام طور پر استعمال ہونے والے آئن ذرائع میں شامل ہیں: کاف مین آئن سورس، ہال آئن سورس، اینوڈ لیئر آئن سورس، ہولو کیتھوڈ ہال آئن سورس، ریڈیو فریکوئنسی آئن سورس، وغیرہ۔