1.Ион нурлары ярдәмендә материалларның өслеген модификацияләүдә булышу өчен, аз энергияле ион нурлары кулланыла.
(1) Ионга характеристика
Каплау процессы вакытында, пленка кисәкчәләре субстрат өслегендәге ион чыганагыннан корылма ионнары белән өзлексез бомбардировать ителә, корылма ион нурлары белән капланган вакытта.
2) Ионның роле ярдәм итә
Energyгары энергия ионнары теләсә кайсы вакытта бәйләнгән кино кисәкчәләрен бомбага тоталар. Энергияне күчереп, тупланган кисәкчәләр зуррак кинетик энергия ала, шуның белән нуклеяция һәм үсеш законын яхшырта; Мембрана тукымасына теләсә нинди вакытта кысылу эффекты ясагыз, фильм тыгызрак үсә; Әгәр реактив газ ионнары укол ясалса, материал өслегендә стохиометрик катнаш катлам барлыкка килергә мөмкин, һәм катнаш катлам белән субстрат арасында интерфейс юк.
2. Ион нуры өчен ион чыганагы
Ион нуры ярдәмендә чүлмәкнең характеристикасы шунда: кино катламы атомнары (чүпләү кисәкчәләре) субстрат өслегендәге ион чыганагыннан аз энергияле ионнар белән өзлексез бомбардировать итәләр, кино структурасын бик тыгыз итәләр һәм кино катламының эшләвен яхшырталар. Ион нурының E энергиясе ≤ 500eV. Гадәттә кулланыла торган ион чыганаклары: Каффман ион чыганагы, зал ион чыганагы, анод катлам ион чыганагы, буш катод зал ион чыганагы, радио ешлык ион чыганагы һ.б.
Пост вакыты: июнь-30-2023