Ekipman, hızlı biriktirme oranı ve yüksek film kalitesi özelliklerine sahip oksit filmi hazırlamak için esas olarak kimyasal buhar biriktirmeyi benimser. Ekipman yapısına gelince, sıkıştırma verimliliğini artırmak için çift kapılı yapı kullanılır ve kararlı ve kontrol edilebilir akışı sağlamak ve proses kararlılığını etkili bir şekilde sağlamak için en son sıvı gaz besleme sistemi benimsenir. Ekipman tarafından hazırlanan film, iyi su buharı bariyerine ve kaynama testinde daha uzun kararlı süreye sahiptir.
Ekipman paslanmaz çelik, elektrokaplama donanım/plastik parçalar, cam, seramik ve elektronik ürünler, LED ışık boncukları, tıbbi malzemeler ve oksidasyon direncine ihtiyaç duyan diğer ürünler gibi diğer malzemelere uygulanabilir. SiOx bariyer filmi esas olarak su buharını etkili bir şekilde engellemek, korozyonu ve oksidasyonu önlemek ve ürün ömrünü artırmak için hazırlanır.
| İsteğe bağlı modeller | iç hazne boyutu |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |