Giň manyda aýdylanda, CVD-ni takmynan iki görnüşe bölmek mümkin: biri dar CVD bolan bir kristal epitaksial gatlagyň substrat bug buglanyşynda bir önümde; beýlekisi köp önümli we amorf filmleri goşmak bilen substratda inçe filmleriň goýulmagy. Ulanylýan çeşme gazlarynyň dürli görnüşlerine görä, CVD halogen transport usulyna we metal-organiki himiki bug çökdürilişine (MOCVD) bölünip bilner, öňküsi gaz çeşmesi hökmünde, ikinjisi gaz çeşmesi hökmünde metal-organiki birleşmelere. Reaksiýa kamerasyndaky basyşa görä, ony üç esasy görnüşe bölmek bolar: atmosfera basyşy CVD (APCVD), pes basyşly CVD (LPCVD) we ultra ýokary vakuum CVD (UHV / CVD) .CVD energiýa güýçlendiriji kömekçi usuly hökmünde hem ulanylyp bilner we häzirki wagtda adaty zatlara plazma güýçlendirilen CVD (PECVD) we ýagtylyk güýçlendirilen CVD (PECVD) we ýagtylyk güýçlendirilen CVD (PECVD) we ýeňilleşdirilen CVD (PECVD) girýär.
CVD, esasan, substratda goýlan gaty madda öndürmek üçin ýokary fazada gaz fazaly maddanyň himiki taýdan reaksiýa berýän film emele getiriş usulydyr. Hususan-da, üýtgäp durýan metal halidler ýa-da metal organiki birleşmeler H, Ar ýa-da N ýaly daşaýjy gaz bilen garylýar we soňra himiki reaksiýa arkaly substratda inçe film döretmek üçin reaksiýa kamerasynda ýokary temperaturaly substrata birmeňzeş daşalýar. CVD-iň haýsy görnüşine garamazdan, depozit üstünlikli amala aşyrylyp bilner, aşakdaky esasy şertlere laýyk gelmelidir: Birinjiden, çöketlik temperaturasynda reaktiwler ýeterlik ýokary bug basyşy bolmaly; Ikinjiden, reaksiýa önümi, gaty ýagdaý üçin islenýän goýumdan başga-da, gazyň galan bölegi; Üçünjiden, depozitiň reaksiýa prosesiniň gyzdyrylan substratyň tutuş prosesinde saklanmagyny üpjün etmek üçin goýumyň özi ýeterlik pes bug basyşy bolmaly; Dördünjiden, substrat materialy inçe film döretmek üçin himiki reaksiýa arkaly substratdaky reaksiýa kamerasyna birmeňzeş daşalýar. Dördünjiden, substrat materialyň bug basyşy hem çöketlik temperaturasynda ýeterlik derejede pes bolmalydyr.
IsBu makala çap edildi byvakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Maý-04-2024