Wolfram filamenti ýokary temperatura çenli gyzdyrylýar, bu bolsa gyzgyn elektronlary çykaryp, ýokary dykyzlykly elektron akymyny çykarýar we şol bir wagtyň özünde gyzgyn elektronlary ýokary energiýaly elektron akymyna çaltlandyrmak üçin tizleşdiriji elektrod goýulýar. Ýokary dykyzlykly, ýokary energiýaly elektron akymy has köp hlor ionlaşmasyny, has köp metal plýonka gatlagynyň atomlaryny ionlaşdyryp, has köp hlorid ionlaryny alyp, püskürme tizligini ýokarlandyryp, şeýlelik bilen çökme tizligini ýokarlandyryp biler: metal ionlaşma tizligini ýokarlandyrmak üçin has köp metal ionlaşmasy bolup biler, bu bolsa birleşme plýonkasynyň çökme reaksiýasyna ýardam edýär; metal plýonka gatlagynyň ionlaryny iş bölegine ýetmek üçin iş böleginiň tok dykyzlygyny gowulandyrmak üçin, şeýlelik bilen çökme tizligini ýokarlandyrýar.
Magnetron püskürtme gaty örtüginde, gyzgyn katodlaşdyrmanyň öň we arka tarapyndaky tok dykyzlygy we plýonka gurluşy artýar. TiSiCN gyzgyn katod goşulmazdan öň, iş bölegindäki tok dykyzlygy diňe 0,2mA/mm bolýar, gyzgyn katod 4,9mA/mm2-e çenli artandan soň, bu 24 esse ýa-da şoňa deňdir we plýonka gurluşy has dykyz bolýar. Magnetron püskürtme örtüginiň tehnologiýasynda gyzgyn katodyň goşulmagynyň magnetron püskürtme çökündisiniň tizligini we plýonka bölejikleriniň işjeňligini ýokarlandyrmakda örän netijelidigini görmek bolýar. Bu tehnologiýa turbina pyçaklarynyň, palçyk nasosynyň porşenleriniň we üweýji bölekleriniň ömrüni ep-esli gowulandyryp biler.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 11-nji oktýabry