De wolfraamgloeidraad wordt tot een hoge temperatuur verhit, waardoor hete elektronen vrijkomen en een elektronenstroom met hoge dichtheid ontstaat. Tegelijkertijd wordt een versnellingselektrode gebruikt om deze hete elektronen te versnellen tot een elektronenstroom met hoge energie. Deze elektronenstroom met hoge dichtheid en hoge energie kan leiden tot een hogere ionisatie van chloride-ionen, waardoor meer atomen in de metaalfilmlaag geïoniseerd worden en er meer chloride-ionen ontstaan. Dit verbetert de sputteringssnelheid en daarmee de afzettingssnelheid. Bovendien kan de metaalionisatie de metaalionisatiesnelheid verhogen, wat de reactie en de afzetting van de samengestelde film bevordert. De ionen in de metaalfilmlaag bereiken het werkstuk, waardoor de stroomdichtheid van het werkstuk toeneemt en de afzettingssnelheid eveneens stijgt.
Bij het hardcoaten met magnetron sputteren neemt de stroomdichtheid en de filmstructuur van het werkstuk toe, zowel aan de voor- als achterzijde van de hete kathode. Voor TiSiCN vóór de toevoeging van een hete kathode bedraagt de stroomdichtheid op het werkstuk slechts 0,2 mA/mm², na de toevoeging van de hete kathode stijgt deze naar 4,9 mA/mm², wat neerkomt op een toename van ongeveer 24 keer, en de filmstructuur is dichter. Hieruit blijkt dat de toevoeging van een hete kathode bij magnetron sputtercoatingtechnologie zeer effectief is in het verbeteren van de sputterafzettingssnelheid en de activiteit van de filmdeeltjes. Deze technologie kan de levensduur van turbinebladen, modderpompplunjers en slijpmachineonderdelen aanzienlijk verlengen.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 11 oktober 2023