Вольфрам жіпшесі жоғары температураға дейін қыздырылып, ыстық электрондар шығарылып, жоғары тығыздықтағы электрон ағынын шығарады, сонымен бірге ыстық электрондарды жоғары энергиялы электрон ағынына айналдыру үшін үдеткіш электрод орнатылады. Жоғары тығыздықтағы, жоғары энергиялы электрон ағынында хлордың иондалуы көбірек болуы мүмкін, металл пленка қабатының атомдары иондалып, көбірек хлорид иондары алынады, осылайша шашыраңқылық жылдамдығын жақсартады, осылайша тұндыру жылдамдығын арттырады: металл иондалуы жылдамдығын жақсарту үшін металл иондалуы көбірек болуы мүмкін, бұл қосылыс пленкасының тұндыру реакциясына ықпал етеді; металл пленка қабатының иондары жұмыс бөлігінің ток тығыздығын жақсарту үшін жұмыс бөлігіне жетеді, осылайша тұндыру жылдамдығын арттырады.
Магнетронды бүрку қатты жабынында ыстық катодтау кезінде дайындаманың алдыңғы және артқы жағындағы ток тығыздығы мен пленканың ұйымдастырылуы артады. TiSiCN ыстық катодты қоспас бұрын, дайындамада ток тығыздығы небәрі 0,2 мА/мм құрайды, ыстық катод 4,9 мА/мм2-ге дейін артқаннан кейін, бұл шамамен 24 есеге артуға тең, ал пленканың ұйымдастырылуы тығызырақ болады. Магнетронды бүрку жабыны технологиясында ыстық катодты қосу магнетронды бүрку жылдамдығын және пленка бөлшектерінің белсенділігін жақсартуда өте тиімді екенін көруге болады. Бұл технология турбина қалақтарының, балшық сорғысының поршеньдерінің және ұнтақтағыш бөлшектердің қызмет ету мерзімін айтарлықтай жақсарта алады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 11 қазан