টাংস্টেন ফিলামেন্টকে উচ্চ তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করা হয় যা উত্তপ্ত ইলেকট্রন নির্গত করে একটি উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ তৈরি করে, এবং একই সময়ে একটি ত্বরণকারী ইলেকট্রোড স্থাপন করা হয় যা উত্তপ্ত ইলেকট্রনগুলোকে ত্বরান্বিত করে একটি উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন প্রবাহে পরিণত করে। উচ্চ-ঘনত্ব ও উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন প্রবাহ আরও বেশি ক্লোরিন আয়নায়ন ঘটাতে পারে, যার ফলে ধাতব ফিল্ম স্তরের আরও বেশি পরমাণু আয়নিত হয়ে আরও বেশি ক্লোরাইড আয়ন তৈরি করে স্পাটারিং হার উন্নত করে, এবং এর মাধ্যমে জমা হওয়ার হার বৃদ্ধি পায়; এটি আরও বেশি ধাতুকে আয়নিত করে ধাতব আয়নায়নের হার উন্নত করতে পারে, যা যৌগিক ফিল্মের জমা হওয়ার বিক্রিয়ার জন্য সহায়ক; ধাতব ফিল্ম স্তরের আয়নগুলো ওয়ার্কপিসে পৌঁছালে ওয়ার্কপিসের কারেন্ট ডেনসিটি উন্নত হয়, যার ফলে জমা হওয়ার হার বৃদ্ধি পায়।
ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং হার্ড কোটিং-এ, হট ক্যাথোডাইজিং-এর ফলে ওয়ার্কপিসের সামনে ও পিছনে কারেন্ট ডেনসিটি এবং ফিল্ম অর্গানাইজেশন বৃদ্ধি পায়। হট ক্যাথোড যোগ করার আগে TiSiCN-এর ক্ষেত্রে ওয়ার্কপিসের উপর কারেন্ট ডেনসিটি ছিল মাত্র ০.২mA/mm², যা হট ক্যাথোড যোগ করার পর বেড়ে ৪.৯mA/mm² হয়, যা প্রায় ২৪ গুণ বৃদ্ধির সমতুল্য, এবং ফিল্ম অর্গানাইজেশন আরও ঘন হয়। এতে দেখা যায় যে, ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং কোটিং প্রযুক্তিতে, হট ক্যাথোড যোগ করা ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং ডিপোজিশন রেট এবং ফিল্ম কণার সক্রিয়তা উন্নত করতে অত্যন্ত কার্যকর। এই প্রযুক্তি টারবাইন ব্লেড, মাড পাম্প প্লাঞ্জার এবং গ্রাইন্ডার পার্টসের আয়ু উল্লেখযোগ্যভাবে বাড়াতে পারে।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ১১ অক্টোবর, ২০২৩