ໃຍແກ້ວນຳແສງຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນອຸນຫະພູມສູງ ເຊິ່ງປ່ອຍເອເລັກຕຣອນຮ້ອນອອກມາເພື່ອປ່ອຍກະແສເອເລັກຕຣອນທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ແລະໃນເວລາດຽວກັນ ເອເລັກໂຕຣດເລັ່ງຄວາມໄວຈະຖືກຕັ້ງຄ່າເພື່ອເລັ່ງເອເລັກຕຣອນຮ້ອນໃຫ້ກາຍເປັນກະແສເອເລັກຕຣອນພະລັງງານສູງ. ການໄຫຼຂອງເອເລັກຕຣອນທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ ແລະ ພະລັງງານສູງສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດໄອອອນໄນເຊຊັນຄລໍຣີນຫຼາຍຂຶ້ນ, ອະຕອມຊັ້ນຟິມໂລຫະຫຼາຍຂຶ້ນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໄອອອນຄລໍຣີນຫຼາຍຂຶ້ນເພື່ອປັບປຸງອັດຕາການສະເປເຕີຣິງ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເພີ່ມອັດຕາການຕົກຕະກອນ: ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດໄອອອນໄນເຊຊັນໂລຫະຫຼາຍຂຶ້ນເພື່ອປັບປຸງອັດຕາການຕົກຕະກອນຂອງໂລຫະ, ເຊິ່ງເອື້ອອຳນວຍຕໍ່ປະຕິກິລິຍາຂອງການຕົກຕະກອນຂອງຟິມປະສົມ; ໄອອອນຊັ້ນຟິມໂລຫະເພື່ອໄປເຖິງຊິ້ນວຽກເພື່ອປັບປຸງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງກະແສໄຟຟ້າຂອງຊິ້ນວຽກ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເພີ່ມອັດຕາການຕົກຕະກອນ.
ໃນການເຄືອບແຂງແບບ magnetron sputtering, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງກະແສໄຟຟ້າ ແລະ ການຈັດລຽງຟິມຂອງຊິ້ນວຽກດ້ານໜ້າ ແລະ ດ້ານຫຼັງຂອງການ cathodizing ຮ້ອນຈະເພີ່ມຂຶ້ນ. TiSiCN ກ່ອນການເພີ່ມ cathode ຮ້ອນ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງກະແສໄຟຟ້າໃນຊິ້ນວຽກແມ່ນພຽງແຕ່ 0.2mA/mm, ຫຼັງຈາກການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງ cathode ຮ້ອນເປັນ 4.9mA/mm2, ເຊິ່ງເທົ່າກັບການເພີ່ມຂຶ້ນ 24 ເທົ່າ ຫຼື ຫຼາຍກວ່ານັ້ນ, ແລະ ການຈັດລຽງຟິມມີຄວາມໜາແໜ້ນຫຼາຍຂຶ້ນ. ສາມາດເຫັນໄດ້ວ່າໃນເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ magnetron sputtering, ການເພີ່ມ cathode ຮ້ອນມີປະສິດທິພາບຫຼາຍໃນການປັບປຸງອັດຕາການຕົກຕະກອນ magnetron sputtering ແລະ ກິດຈະກຳຂອງອະນຸພາກຟິມ. ເຕັກໂນໂລຊີນີ້ສາມາດປັບປຸງອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງໃບກັງຫັນ, ກະບອກສູບນ້ຳຂີ້ຕົມ, ແລະ ຊິ້ນສ່ວນເຄື່ອງບົດໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາໂພສ: ຕຸລາ-11-2023