Tungsten filaman yüksek bir sıcaklığa ısıtılarak sıcak elektronlar yayar ve yüksek yoğunluklu bir elektron akımı oluşturulur; aynı zamanda bir hızlandırıcı elektrot yerleştirilerek sıcak elektronlar yüksek enerjili bir elektron akımına dönüştürülür. Yüksek yoğunluklu, yüksek enerjili elektron akımı, daha fazla klor iyonlaşmasına, daha fazla metal film tabakası atomunun iyonlaşmasına ve daha fazla klorür iyonu elde edilmesine olanak tanıyarak püskürtme oranını artırır ve böylece biriktirme hızını yükseltir; daha fazla metal iyonlaşmasına olanak tanıyarak metal iyonlaşma oranını artırır ve bileşik filmin biriktirme reaksiyonuna katkıda bulunur; metal film tabakası iyonlarının iş parçasına ulaşması, iş parçasının akım yoğunluğunu artırarak biriktirme hızını yükseltir.
Manyetik püskürtmeli sert kaplamada, sıcak katotlama işleminde iş parçasının ön ve arka yüzündeki akım yoğunluğu ve film organizasyonunda artış gözlemlenmiştir. Sıcak katot eklenmeden önce TiSiCN'de iş parçası üzerindeki akım yoğunluğu sadece 0,2 mA/mm iken, sıcak katot eklendikten sonra 4,9 mA/mm²'ye yükselmiş, bu da yaklaşık 24 katlık bir artışa eşdeğerdir ve film organizasyonu daha yoğun hale gelmiştir. Manyetik püskürtmeli kaplama teknolojisinde, sıcak katot eklenmesinin manyetik püskürtmeli kaplama hızını ve film parçacıklarının aktivitesini iyileştirmede çok etkili olduğu görülmektedir. Bu teknoloji, türbin kanatlarının, çamur pompası pistonlarının ve öğütücü parçalarının ömrünü önemli ölçüde uzatabilir.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 11 Ekim 2023