Filamente ea tungsten e futhumatsoa mochesong o phahameng o ntšang lielektrone tse chesang ho ntša molapo oa lielektrone tse nang le bongata bo phahameng, 'me ka nako e ts'oanang electrode e potlakisang e behiloe ho potlakisa lielektrone tse chesang ho kena molapong oa lielektrone tse nang le matla a mangata. Phallo ea lielektrone tse nang le bongata bo phahameng, tse nang le matla a mangata li ka ba ionization ea chlorine e ngata, liathomo tse ngata tsa lera la filimi ea tšepe li ka ba ionized ho fumana li-ion tse ngata tsa chloride ho ntlafatsa sekhahla sa ho qhalana, ka hona ho eketsa sekhahla sa ho beoa: e ka ba ionization ea tšepe e ngata ho ntlafatsa sekhahla sa ionization ea tšepe, e thusang karabelo ea ho beoa ha filimi e kopaneng; li-ion tsa lera la filimi ea tšepe ho fihlela karolo ea mosebetsi ho ntlafatsa bongata ba hona joale ba karolo ea mosebetsi, ka hona ho eketsa sekhahla sa ho beoa.
Ka har'a sekoahelo se thata sa magnetron sputtering, ho eketseha ha bongata ba hona joale le tlhophiso ea filimi ea karolo ea mosebetsi ka pele le ka morao ea cathodizing e chesang. TiSiCN pele ho eketsoa ha cathode e chesang, bongata ba hona joale holim'a karolo ea mosebetsi ke 0.2mA/mm feela, kamora keketseho ea cathode e chesang ho ea ho 4.9mA/mm2, e leng se lekanang le keketseho ea makhetlo a 24 kapa ho feta, 'me tlhophiso ea filimi e teteaneng haholo. Ho ka bonoa hore theknolojing ea ho roala sputtering ea magnetron sputtering, ho eketsoa ha cathode e chesang ho sebetsa haholo ho ntlafatseng sekhahla sa ho beoa ha sputtering ea magnetron le ts'ebetso ea likaroloana tsa filimi. Theknoloji ena e ka ntlafatsa haholo bophelo ba mahare a turbine, li-plungers tsa pompo ea seretse le likarolo tsa grinder.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Mphalane-11-2023