Volfram filamenti yuqori haroratgacha qizdiriladi, bu esa issiq elektronlarni chiqaradi va yuqori zichlikdagi elektron oqimini chiqaradi va shu bilan birga issiq elektronlarni yuqori energiyali elektron oqimiga tezlashtirish uchun tezlashtiruvchi elektrod o'rnatiladi. Yuqori zichlikdagi, yuqori energiyali elektron oqimi ko'proq xlor ionlanishiga, ko'proq metall plyonka qatlami atomlarini ionlash orqali ko'proq xlorid ionlarini olish orqali purkash tezligini oshirishi mumkin, shu bilan cho'kish tezligini oshiradi: metall ionlanish tezligini oshirish uchun ko'proq metall ionlanishi mumkin, bu esa birikma plyonkasining cho'kish reaksiyasiga yordam beradi; metall plyonka qatlami ionlari ish qismiga yetib borishi orqali ish qismining oqim zichligini oshirishi va shu bilan cho'kish tezligini oshirishi mumkin.
Magnetronli purkash qattiq qoplamasida, issiq katodlashning old va orqa qismidagi oqim zichligi va plyonka tashkil etilishining oshishi. TiSiCN issiq katod qo'shilishidan oldin, ish qismidagi oqim zichligi atigi 0,2 mA/mm ni tashkil qiladi, issiq katod 4,9 mA/mm2 ga ko'tarilgandan so'ng, bu taxminan 24 baravar ko'payishiga teng va plyonka tashkil etilishi zichroq bo'ladi. Magnetronli purkash qoplama texnologiyasida issiq katod qo'shilishi magnetronli purkash cho'kma tezligini va plyonka zarrachalarining faolligini oshirishda juda samarali ekanligini ko'rish mumkin. Ushbu texnologiya turbina pichoqlari, loy nasosi pistonlari va maydalagich qismlarining ishlash muddatini sezilarli darajada yaxshilashi mumkin.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 11-oktabr