การเพิ่มประสิทธิภาพแคโทดร้อนสำหรับการสปัตเตอริงด้วยแมกเนตรอน

ไส้หลอดทังสเตนถูกทำให้ร้อนจนถึงอุณหภูมิสูง ทำให้เกิดอิเล็กตรอนร้อนและกระแสอิเล็กตรอนความหนาแน่นสูง ในขณะเดียวกันก็มีการติดตั้งอิเล็กโทรดเร่งความเร็วเพื่อเร่งอิเล็กตรอนร้อนเหล่านั้นให้กลายเป็นกระแสอิเล็กตรอนพลังงานสูง กระแสอิเล็กตรอนความหนาแน่นสูงและพลังงานสูงสามารถทำให้เกิดการแตกตัวเป็นไอออนของคลอรีนได้มากขึ้น ทำให้ไอออนของอะตอมในชั้นฟิล์มโลหะแตกตัวเป็นไอออนมากขึ้น ส่งผลให้เพิ่มอัตราการสปัตเตอร์และเพิ่มอัตราการตกตะกอน: สามารถทำให้เกิดการแตกตัวเป็นไอออนของโลหะได้มากขึ้น ช่วยเพิ่มอัตราการแตกตัวเป็นไอออนของโลหะ ซึ่งเอื้อต่อปฏิกิริยาการตกตะกอนของฟิล์มผสม ไอออนของชั้นฟิล์มโลหะจะไปถึงชิ้นงาน ช่วยเพิ่มความหนาแน่นของกระแสไฟฟ้าในชิ้นงาน ส่งผลให้เพิ่มอัตราการตกตะกอน

ในกระบวนการเคลือบผิวแข็งด้วยการสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอน การเพิ่มความหนาแน่นของกระแสไฟฟ้าและการจัดเรียงตัวของฟิล์มบนชิ้นงานทั้งด้านหน้าและด้านหลังด้วยแคโทดร้อน พบว่าก่อนการเพิ่มแคโทดร้อน ความหนาแน่นของกระแสไฟฟ้าบนชิ้นงาน TiSiCN อยู่ที่เพียง 0.2 mA/mm² เท่านั้น แต่หลังจากเพิ่มแคโทดร้อนเป็น 4.9 mA/mm² ซึ่งเทียบเท่ากับการเพิ่มขึ้นประมาณ 24 เท่า และการจัดเรียงตัวของฟิล์มก็หนาแน่นขึ้น จะเห็นได้ว่าในเทคโนโลยีการเคลือบด้วยการสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอน การเพิ่มแคโทดร้อนนั้นมีประสิทธิภาพมากในการปรับปรุงอัตราการตกตะกอนของการสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอนและกิจกรรมของอนุภาคฟิล์ม เทคโนโลยีนี้สามารถยืดอายุการใช้งานของใบพัดกังหัน ลูกสูบปั๊มโคลน และชิ้นส่วนเครื่องบดได้อย่างมีนัยสำคัญ

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสุญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว