Volfram filamenti yüksək sıxlıqlı elektron axını yaymaq üçün isti elektronlar buraxan yüksək temperatura qədər qızdırılır və eyni zamanda isti elektronları yüksək enerjili elektron axınına sürətləndirmək üçün sürətləndirici elektrod qurulur. Yüksək sıxlıqlı, yüksək enerjili elektron axını daha çox xlor ionlaşması, daha çox metal təbəqə atomlarının ionlaşması və daha çox xlorid ionu əldə etmək üçün çiləmə sürətini artırmaqla çökmə sürətini artıra bilər: metal ionlaşma sürətini artırmaq üçün daha çox metal ionlaşması ola bilər, bu da birləşmə filminin çökmə reaksiyasına kömək edir; metal təbəqə ionlarının iş parçasına çatması və iş parçasının cərəyan sıxlığını artırmaqla çökmə sürətini artırır.
Maqnetron püskürtmə sərt örtüyündə, isti katodlaşdırmanın iş parçasının ön və arxa hissəsində cərəyan sıxlığı və film təşkili artır. TiSiCN-də isti katod əlavə edilməzdən əvvəl iş parçasındakı cərəyan sıxlığı cəmi 0,2 mA/mm-dir, isti katod 4,9 mA/mm2-yə qədər artdıqdan sonra bu, təxminən 24 dəfə artıma bərabərdir və film təşkili daha sıx olur. Göründüyü kimi, maqnetron püskürtmə örtüyü texnologiyasında isti katodun əlavə edilməsi maqnetron püskürtmə çökmə sürətini və film hissəciklərinin aktivliyini artırmaqda çox təsirlidir. Bu texnologiya turbin bıçaqlarının, palçıq nasosu pistonlarının və üyüdücü hissələrinin ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra bilər.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yayımlanma vaxtı: 11 oktyabr 2023