Вольфрам жипчеси жогорку температурага чейин ысытылат, ал ысык электрондорду бөлүп чыгарып, жогорку тыгыздыктагы электрондук агым чыгарат жана ошол эле учурда ысык электрондорду жогорку энергиялуу электрондук агымга айландыруу үчүн ылдамдатуучу электрод орнотулат. Жогорку тыгыздыктагы, жогорку энергиялуу электрондук агым хлордун иондоштурулушун көбөйтөт, чачыратуу ылдамдыгын жакшыртуу үчүн көбүрөөк хлорид иондорун алуу үчүн көбүрөөк металл пленка катмарынын атомдору иондолот, ошону менен чөкмө ылдамдыгын жогорулатат: металлдын иондоштурулушун жакшыртуу үчүн көбүрөөк металл иондоштурулушу мүмкүн, бул кошулма пленкасынын чөкмө реакциясына өбөлгө түзөт; металл пленка катмарынын иондору жумушчу бөлүккө жетип, жумушчу бөлүктүн ток тыгыздыгын жакшыртат, ошону менен чөкмө ылдамдыгын жогорулатат.
Магнетрондук чачыратуучу катуу каптоодо, ысык катоддоодо, жумушчу бөлүктүн алдыңкы жана арткы бетиндеги ток тыгыздыгын жана пленканын уюштурулушун жогорулатат. TiSiCN ысык катодду кошуудан мурун, жумушчу бөлүктөгү ток тыгыздыгы болгону 0,2 мА/мм түзөт, андан кийин ысык катод 4,9 мА/мм2ге чейин көбөйөт, бул болжол менен 24 эсе көбөйүүгө барабар жана пленканын уюштурулушу тыгызыраак болот. Магнетрондук чачыратуучу каптоо технологиясында ысык катодду кошуу магнетрондук чачыратуунун чөкмө ылдамдыгын жана пленка бөлүкчөлөрүнүн активдүүлүгүн жакшыртууда абдан натыйжалуу экенин көрүүгө болот. Бул технология турбина бычактарынын, баткак насосунун поршендеринин жана майдалагыч тетиктердин иштөө мөөнөтүн бир топ жакшырта алат.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 11-октябры