टंगस्टन फिलामेंटला उच्च तापमानापर्यंत गरम केले जाते, ज्यामुळे उष्ण इलेक्ट्रॉन्स उत्सर्जित होऊन उच्च-घनतेचा इलेक्ट्रॉन प्रवाह तयार होतो, आणि त्याच वेळी एक प्रवेगक इलेक्ट्रोड लावला जातो जो या उष्ण इलेक्ट्रॉन्सना उच्च-ऊर्जा इलेक्ट्रॉन प्रवाहात रूपांतरित करण्यासाठी प्रवेग देतो. उच्च-घनतेच्या, उच्च-ऊर्जा इलेक्ट्रॉन प्रवाहामुळे क्लोरीनचे अधिक आयनीकरण होऊ शकते, ज्यामुळे धातूच्या फिल्मच्या थरातील अधिक अणूंचे आयनीकरण होऊन अधिक क्लोराईड आयन मिळतात आणि स्पटरिंगचा दर सुधारतो, परिणामी निक्षेपणाचा दर वाढतो; धातूचे अधिक आयनीकरण होऊन त्याच्या आयनीकरणाचा दर सुधारतो, जे संयुक्त फिल्मच्या निक्षेपणाच्या अभिक्रियेसाठी अनुकूल असते; धातूच्या फिल्मच्या थरातील आयन वर्कपीसपर्यंत पोहोचून वर्कपीसची विद्युत प्रवाह घनता सुधारतात, ज्यामुळे निक्षेपणाचा दर वाढतो.
मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग हार्ड कोटिंगमध्ये, हॉट कॅथोडायझिंगमुळे वर्कपीसच्या पुढील आणि मागील बाजूस करंट डेन्सिटी आणि फिल्मची रचना वाढते. हॉट कॅथोड जोडण्यापूर्वी TiSiCN वर्कपीसवरील करंट डेन्सिटी फक्त 0.2mA/mm² होती, हॉट कॅथोड जोडल्यानंतर ती 4.9mA/mm² पर्यंत वाढली, जी सुमारे 24 पटीच्या वाढीच्या बरोबरीची आहे, आणि फिल्मची रचना अधिक दाट झाली. यावरून असे दिसून येते की, मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग तंत्रज्ञानामध्ये, मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपॉझिशनचा दर आणि फिल्मच्या कणांची सक्रियता सुधारण्यासाठी हॉट कॅथोडचा वापर खूप प्रभावी आहे. हे तंत्रज्ञान टर्बाइन ब्लेड्स, मड पंप प्लंजर्स आणि ग्राइंडरच्या भागांचे आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढवू शकते.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: ११ ऑक्टोबर २०२३