Вольфрам җепселләре югары температурага кадәр җылытыла, бу югары тыгызлыктагы электрон агымын чыгару өчен кайнар электроннар чыгара, һәм шул ук вакытта кайнар электроннарны югары энергияле электрон агымына тизләтү өчен тизләтүче электрод урнаштырыла. Югары тыгызлыктагы, югары энергияле электрон агымында хлор ионлашуы күбрәк була ала, күбрәк металл пленка катламы атомнары ионлаша, сиптерү тизлеген яхшырта, шуның белән утыру тизлеген арттыра: металл ионлашу тизлеген яхшырта, бу кушылма пленкасының утыру реакциясенә ярдәм итә; металл пленка катламы ионнары эш кисәгенә барып җитә, бу эш кисәгенең ток тыгызлыгын яхшырта, шуның белән утыру тизлеген арттыра.
Магнетрон сиптерү каты каплавында, кайнар катодлаштыру барышында эш кисәгенең алгы һәм арткы өлешендәге ток тыгызлыгы һәм пленка оештыруы арта. TiSiCN кайнар катод өстәгәнче, эш кисәгендәге ток тыгызлыгы нибары 0,2 мА/мм тәшкил итә, кайнар катод 4,9 мА/мм2 га кадәр артканнан соң, бу якынча 24 тапкыр артуга тиң, һәм пленка оештыруы тыгызрак була. Күренгәнчә, магнетрон сиптерү каплавы технологиясендә кайнар катод өстәү магнетрон сиптерү тизлеген һәм пленка кисәкчәләренең активлыгын яхшырту өчен бик нәтиҗәле. Бу технология турбина пычакларының, балчык насосы поршеньнәренең һәм тарткыч детальләренең гомерен сизелерлек яхшырта ала.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 11 октябре