Dây tóc vonfram được nung nóng đến nhiệt độ cao để phát ra các electron nóng tạo thành dòng electron mật độ cao, đồng thời một điện cực gia tốc được thiết lập để gia tốc các electron nóng thành dòng electron năng lượng cao. Dòng electron năng lượng cao, mật độ cao có thể ion hóa nhiều clo hơn, ion hóa nhiều nguyên tử lớp màng kim loại hơn để thu được nhiều ion clorua hơn, cải thiện tốc độ bắn phá, do đó tăng tốc độ lắng đọng; có thể ion hóa nhiều kim loại hơn để cải thiện tốc độ ion hóa kim loại, có lợi cho phản ứng lắng đọng màng hợp chất; các ion lớp màng kim loại tiếp cận phôi để cải thiện mật độ dòng điện của phôi, do đó tăng tốc độ lắng đọng.
Trong quá trình phủ cứng bằng phương pháp phún xạ magnetron, việc tăng mật độ dòng điện và cấu trúc màng ở mặt trước và mặt sau của phôi sau khi catốt nóng giúp cải thiện độ dày đặc của màng. Trước khi thêm catốt nóng, mật độ dòng điện trên phôi TiSiCN chỉ là 0,2mA/mm², sau khi tăng catốt nóng lên 4,9mA/mm², tương đương với mức tăng khoảng 24 lần, và cấu trúc màng cũng dày đặc hơn. Điều này cho thấy trong công nghệ phủ phún xạ magnetron, việc thêm catốt nóng rất hiệu quả trong việc cải thiện tốc độ lắng đọng phún xạ magnetron và hoạt tính của các hạt màng. Công nghệ này có thể cải thiện đáng kể tuổi thọ của cánh tuabin, pít tông bơm bùn và các bộ phận máy mài.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 11 tháng 10 năm 2023