Włókno wolframowe jest podgrzewane do wysokiej temperatury, co powoduje emisję gorących elektronów, tworząc strumień elektronów o wysokiej gęstości. Jednocześnie elektroda przyspieszająca przyspiesza gorące elektrony, przekształcając je w strumień elektronów o wysokiej energii. Przepływ elektronów o wysokiej gęstości i energii może prowadzić do większej jonizacji chloru, a tym samym do większej jonizacji atomów warstwy metalicznej, co prowadzi do uzyskania większej ilości jonów chlorkowych i poprawy szybkości rozpylania, a tym samym zwiększenia szybkości osadzania. Większa jonizacja metalu może prowadzić do zwiększenia szybkości jonizacji metalu, co sprzyja reakcji osadzania złożonej warstwy; jony warstwy metalicznej docierają do przedmiotu obrabianego, zwiększając gęstość prądu przedmiotu obrabianego, a tym samym szybkość osadzania.
W przypadku napylania magnetronowego na twardą powłokę, następuje wzrost gęstości prądu i organizacji warstwy na przedmiocie obrabianym, zarówno z przodu, jak i z tyłu, podczas katodowania na gorąco. W przypadku TiSiCN przed dodaniem gorącej katody, gęstość prądu na przedmiocie obrabianym wynosi zaledwie 0,2 mA/mm, a po zwiększeniu natężenia prądu do 4,9 mA/mm², co odpowiada około 24-krotnemu wzrostowi, a organizacja warstwy jest bardziej gęsta. Widać, że w technologii napylania magnetronowego, dodanie gorącej katody bardzo skutecznie poprawia szybkość osadzania i aktywność cząstek powłoki. Technologia ta może znacząco wydłużyć żywotność łopatek turbin, nurników pomp płuczkowych i części szlifierek.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 11 października 2023 r.