टंगस्टन फिलामेंट को उच्च तापमान पर गर्म किया जाता है जिससे गर्म इलेक्ट्रॉन उत्सर्जित होते हैं और उच्च घनत्व वाली इलेक्ट्रॉन धारा उत्पन्न होती है। साथ ही, एक त्वरक इलेक्ट्रोड को इन गर्म इलेक्ट्रॉनों को उच्च ऊर्जा वाली इलेक्ट्रॉन धारा में परिवर्तित करने के लिए लगाया जाता है। उच्च घनत्व और उच्च ऊर्जा वाले इलेक्ट्रॉन प्रवाह से क्लोरीन का आयनीकरण अधिक होता है, धातु फिल्म परत के परमाणु अधिक आयनित होकर क्लोराइड आयन उत्पन्न करते हैं जिससे स्पटरिंग दर में सुधार होता है और इस प्रकार निक्षेपण दर बढ़ती है। धातु का आयनीकरण अधिक होने से धातु आयनीकरण दर में सुधार होता है, जो यौगिक फिल्म के निक्षेपण की प्रक्रिया के लिए अनुकूल है। धातु फिल्म परत के आयन वर्कपीस तक पहुँचकर वर्कपीस की धारा घनत्व में सुधार करते हैं, जिससे निक्षेपण दर बढ़ती है।
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग हार्ड कोटिंग में, हॉट कैथोडाइजिंग के बाद वर्कपीस के आगे और पीछे की करंट डेंसिटी और फिल्म संरचना में वृद्धि होती है। हॉट कैथोड जोड़ने से पहले, वर्कपीस पर करंट डेंसिटी केवल 0.2mA/mm² होती है, जबकि हॉट कैथोड जोड़ने के बाद यह बढ़कर 4.9mA/mm² हो जाती है, जो लगभग 24 गुना वृद्धि के बराबर है, और फिल्म संरचना अधिक सघन हो जाती है। इससे स्पष्ट होता है कि मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग तकनीक में, हॉट कैथोड जोड़ने से मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन दर और फिल्म कणों की सक्रियता में काफी सुधार होता है। यह तकनीक टरबाइन ब्लेड, मड पंप प्लंजर और ग्राइंडर पार्ट्स के जीवनकाल को काफी हद तक बढ़ा सकती है।
–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: 11 अक्टूबर 2023