Вольфрамовая нить нагревается до высокой температуры, что приводит к испусканию горячих электронов и образованию высокоплотного электронного потока. Одновременно устанавливается ускоряющий электрод, который ускоряет горячие электроны, превращая их в высокоэнергетический электронный поток. Высокоплотный высокоэнергетический электронный поток способствует ионизации большего количества атомов металлической пленки, что приводит к образованию большего количества хлорид-ионов и, следовательно, к увеличению скорости распыления и, таким образом, к увеличению скорости осаждения. Это также способствует ионизации металла и, как следствие, увеличению скорости осаждения композитной пленки. Ионы металлической пленки достигают заготовки, что повышает плотность тока на заготовке и, следовательно, увеличивает скорость осаждения.
При нанесении твердого покрытия методом магнетронного распыления увеличение плотности тока и упорядоченность пленки на лицевой и обратной сторонах заготовки при горячем катодировании. До добавления горячего катода плотность тока на заготовке составляла всего 0,2 мА/мм², после его увеличения — до 4,9 мА/мм², что эквивалентно увеличению примерно в 24 раза, а упорядоченность пленки стала более плотной. Видно, что в технологии магнетронного распыления добавление горячего катода очень эффективно повышает скорость осаждения и активность частиц пленки. Эта технология может значительно увеличить срок службы лопаток турбин, плунжеров грязевых насосов и деталей шлифовальных машин.
– Данная статья опубликованапроизводитель вакуумных напыляемых машинГуандун Чжэньхуа
Дата публикации: 11 октября 2023 г.