Fa'aleleia atili o le cathode vevela mo le magnetron sputtering

O le filament tungsten e fa'avevela i le vevela maualuga e fa'asalalau ai eletise vevela e fa'asalalau ai se vaitafe eletise maualuga-mafiafia, ma i le taimi lava e tasi e seti ai se eletise fa'avavevave e fa'avavevave ai eletise vevela i se vaitafe eletise maualuga-malosi. O le tafe eletise maualuga-mafiafia ma maualuga-malosi e mafai ona sili atu le ionization chlorine, sili atu le ionization o le vaega o le ata u'amea e maua ai le tele o ions chloride e fa'aleleia atili ai le fua faatatau o le sputtering, ma fa'ateleina ai le fua faatatau o le teuina: e mafai ona sili atu le ionization u'amea e fa'aleleia atili ai le fua faatatau o le ionization u'amea, e fesoasoani i le tali atu o le teuina o le ata tu'ufa'atasi; o ions o le vaega o le ata u'amea e o'o atu i le workpiece e fa'aleleia atili ai le mafiafia o le taimi nei o le vaega o le galuega, ma fa'ateleina ai le fua faatatau o le teuina.

I le ufiufi malosi o le magnetron sputtering, e faʻateleina ai le mafiafia o le tafe ma le faʻatulagaina o le ata tifaga o le workpiece pito i luma ma tua o le hot cathodizing. TiSiCN aʻo leʻi faʻaopoopoina le hot cathode, o le mafiafia o le tafe i luga o le workpiece e naʻo le 0.2mA/mm, a maeʻa ona faʻateleina le hot cathode i le 4.9mA/mm2, e tutusa ma le faʻateleina o le 24 taimi pe a ma le tele, ma e sili atu le mafiafia o le faʻatulagaina o le ata tifaga. E mafai ona iloa o le faʻaopoopoina o le hot cathode i le tekinolosi ufiufi o le magnetron sputtering, e matua aoga lava le faʻaleleia atili o le fua faatatau o le teuina o le magnetron sputtering ma le gaioiga o vaega o le ata tifaga. O lenei tekinolosi e mafai ona faʻaleleia atili ai le ola o lau turbine, pamu palapala, ma vaega o le olo.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua