A máa ń gbóná okun tungsten sí iwọ̀n otútù gíga tí ó ń tú àwọn elekitiron gbígbóná jáde láti tú ìṣàn elekitiron oníwọ̀n gíga jáde, ní àkókò kan náà a ṣètò elekitiron oníyẹ̀síwájú láti mú kí àwọn elekitiron gbígbóná yára sí iwọ̀n elekitiron oníwọ̀n gíga. Ìṣàn elekitiron oníwọ̀n gíga, agbára gíga lè jẹ́ ionization chlorine, àwọn átọ̀mù oníwọ̀n irin tí a fi ion ṣe láti gba àwọn ion chloride púpọ̀ sí i láti mú kí ìwọ̀n sputtering sunwọ̀n sí i, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń mú kí ìwọ̀n ìpamọ́ pọ̀ sí i: ó lè jẹ́ ionization irin púpọ̀ sí i láti mú kí ìwọ̀n ionization irin sunwọ̀n sí i, èyí tí ó ń mú kí ìṣesí ìpamọ́ fíìmù oníwọ̀n pọ̀ sí i; àwọn ion fẹlẹfẹlẹ fíìmù irin láti dé ibi iṣẹ́ láti mú kí ìwọ̀n ìṣiṣẹ́ lọ́wọ́lọ́wọ́ ti iṣẹ́ sunwọ̀n sí i, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń mú kí ìwọ̀n ìpamọ́ pọ̀ sí i.
Nínú ìbòrí líle magnetron sputtering, ó máa ń mú kí ìwọ̀n ìṣiṣẹ́ àti ìṣètò fíìmù pọ̀ sí i ní iwájú àti ẹ̀yìn cathodizing gbígbóná. TiSiCN kí a tó fi cathode gbígbóná kún un, ìwọ̀n ìṣiṣẹ́ lórí iṣẹ́ náà jẹ́ 0.2mA/mm nìkan, lẹ́yìn ìbísí nínú cathode gbígbóná sí 4.9mA/mm2, èyí tó dọ́gba pẹ̀lú ìbísí ní ìgbà mẹ́rìnlélógún tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ, ìṣètò fíìmù náà sì túbọ̀ wúwo sí i. A lè rí i pé nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí magnetron sputtering, fífi cathode gbígbóná kún un mú kí ìwọ̀n ìdènà magnetron sputtering àti ìṣiṣẹ́ àwọn patikulu fíìmù sunwọ̀n sí i. Ìmọ̀ ẹ̀rọ yìí lè mú kí ìgbésí ayé àwọn abẹ́ turbine, àwọn plunger pump, àti àwọn ẹ̀yà grinder sunwọ̀n sí i.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-11-2023