การปรับปรุงแคโทดร้อนสำหรับการสปัตเตอร์แมกนีตรอน

ไส้หลอดทังสเตนถูกทำให้ร้อนจนมีอุณหภูมิสูงเพื่อปล่อยอิเล็กตรอนร้อนเพื่อปล่อยกระแสอิเล็กตรอนที่มีความหนาแน่นสูง และในขณะเดียวกัน อิเล็กโทรดเร่งความเร็วก็ถูกตั้งค่าเพื่อเร่งอิเล็กตรอนร้อนให้กลายเป็นกระแสอิเล็กตรอนที่มีพลังงานสูง การไหลของอิเล็กตรอนที่มีความหนาแน่นสูงและพลังงานสูงสามารถทำให้คลอรีนแตกตัวได้มากขึ้น อะตอมของชั้นฟิล์มโลหะแตกตัวได้มากขึ้นเพื่อให้ได้ไอออนคลอไรด์มากขึ้นเพื่อปรับปรุงอัตราการสปัตเตอร์ จึงทำให้เพิ่มอัตราการสะสมได้: สามารถทำให้โลหะแตกตัวได้มากขึ้นเพื่อปรับปรุงอัตราการแตกตัวของโลหะ ซึ่งเอื้อต่อการเกิดปฏิกิริยาของการสะสมของฟิล์มสารประกอบ ไอออนของชั้นฟิล์มโลหะจะไปถึงชิ้นงานเพื่อปรับปรุงความหนาแน่นของกระแสของชิ้นงาน จึงทำให้เพิ่มอัตราการสะสมได้

ในการเคลือบแข็งแบบสปัตเตอร์แมกนีตรอน ความหนาแน่นของกระแสไฟฟ้าและการจัดระเบียบฟิล์มของชิ้นงานด้านหน้าและด้านหลังของแคโทดร้อนจะเพิ่มขึ้น ก่อนการเพิ่มแคโทดร้อน TiSiCN ความหนาแน่นของกระแสไฟฟ้าบนชิ้นงานจะอยู่ที่ 0.2mA/mm เท่านั้น หลังจากการเพิ่มแคโทดร้อนเป็น 4.9mA/mm2 ซึ่งเทียบเท่ากับการเพิ่มขึ้นประมาณ 24 เท่า และการจัดระเบียบฟิล์มจะหนาแน่นมากขึ้น จะเห็นได้ว่าในเทคโนโลยีการเคลือบแบบสปัตเตอร์แมกนีตรอน การเพิ่มแคโทดร้อนมีประสิทธิภาพมากในการปรับปรุงอัตราการสะสมของแมกนีตรอนสปัตเตอร์และกิจกรรมของอนุภาคฟิล์ม เทคโนโลยีนี้สามารถปรับปรุงอายุการใช้งานของใบพัดกังหัน ลูกสูบปั๊มโคลน และชิ้นส่วนเครื่องบดได้อย่างมาก

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว