No.1 TGV Glass тавассути сӯрохи молидани Технология Шарҳи
TGV Glass тавассути сӯрохи молидани Технологияи банақшагирии микроэлектроникии пайдошуда мебошад, ки сохтани сӯрохиҳо дар субстратҳои шишагӣ ва металлизатсия кардани деворҳои дарунии онҳоро барои ноил шудан ба пайвастагиҳои зичии баланди барқро дар бар мегирад. Дар муқоиса бо TSV анъанавӣ (Through Silicon Via) ва субстратҳои органикӣ, шишаи TGV бартариҳоро ба монанди талафоти пасти сигнал, шаффофияти баланд ва устувории аълои гармӣ пешниҳод мекунад. Ин хосиятҳо TGV-ро барои барномаҳо дар алоқаи 5G, бастабандии оптоэлектронӣ, сенсорҳои MEMS ва ғайра мувофиқ мекунанд.
Дурнамои бозор №2: Чаро TGV Glass таваҷҷӯҳро ба худ ҷалб мекунад?
Бо рушди босуръати алоқаи баландбасомад, ҳамгироии оптоэлектронӣ ва технологияҳои пешрафтаи бастабандӣ, талабот ба шишаи TGV мунтазам меафзояд:
5G ва Муоширати Миллиметрӣ-Мавҷ: Хусусиятҳои талафоти ками шишаи TGV онро барои дастгоҳҳои басомади баланд ба монанди мавҷгирҳо ва филтрҳо беҳтарин месозад.
Бастабандии оптоэлектронӣ: Шаффофияти баланди шиша барои барномаҳо ба монанди фотоникаи кремний ва LiDAR муфид аст.
Бастабандии сенсори MEMS: шишаи TGV ба пайвастҳои зичии баланд имкон медиҳад, ки миниатюризатсия ва кори сенсорҳоро беҳтар кунад.
Бастабандии нимноқилҳои пешрафта: Бо афзоиши технологияи Chiplet, субстратҳои шишагии TGV дар бастабандии зичии баланд потенсиали назаррас доранд.
No.3 TGV Glass PVD молидани Раванди муфассал
Металлизатсияи TGV Glass PVD Coating гузоштани маводи гузаронандаро дар деворҳои дарунии гузаргоҳҳо барои ноил шудан ба пайвастҳои барқӣ дар бар мегирад. Ҷараёни маъмулии раванд дар бар мегирад:
1. Ташаккули шишаи TGV тавассути сӯрох: Пармакунии лазерӣ (лазерҳои ултрабунафш/CO₂), etching тар, ё etching хушк барои эҷоди vias TGV ва пас аз тозакунӣ истифода мешавад.
2. Табобати рӯизаминӣ: коркарди плазма ё кимиёвӣ барои баланд бардоштани пайвастшавӣ байни шиша ва қабати металлизатсия истифода мешавад.
3. Ҷойгиркунии қабати тухмӣ: PVD (таҳиши буғи физикӣ) ё CVD (таҳиши буғи химиявӣ) барои гузоштани қабати тухмии металлӣ (масалан, мис, титан/мис, палладий) дар шиша тавассути деворҳои сӯрох истифода мешавад.
4. Electroplating: Миси ноқилӣ ба қабати тухмӣ тавассути электропластика барои ноил шудан ба пайвастагиҳои муқовимати паст ҷойгир карда мешавад.
5. Пас аз табобат: Металли зиёдатӣ хориҷ карда мешавад ва пассиватсияи рӯизаминӣ барои баланд бардоштани эътимоднокӣ анҷом дода мешавад.
Мушкилоти равандҳои №4: Мушкилоти мошини ҷомашӯии шишаи чуқури сӯрохии TGV
Сарфи назар аз дурнамои умедбахши худ, мошини ҷомашӯии TGV Glass Deep Hole бо якчанд мушкилоти техникӣ дучор меояд:
1.Uniformity of TGV Glass Deep Hole Coating : Glass Deep Hole бо таносуби ҷанбаҳои баланд (5:1 то 10:1) аксар вақт аз ҷамъшавии металл дар даромадгоҳ ва пуркунии нокифоя дар поён азоб мекашанд.
2. Ҷойгиркунии қабати тухмӣ: Шиша як изолятор аст, ки гузоштани қабати тухмии баландсифати гузаронандаро дар деворҳои тавассути деворҳо душвор месозад.
3. Назорати фишор: Тафовут дар коэффисиентҳои васеъшавии гармии металл ва шиша метавонад боиси каҷшавӣ ё кафидан гардад.
4. Adhesion of Glass Deep Hole қабатҳои молидани: Сатҳи ҳамвор аз шиша боиси пайвастшавии металлии заиф мегардад, ки равандҳои коркарди рӯизаминиро талаб мекунад.
5. Истеҳсоли оммавӣ ва назорати хароҷот: Баланд бардоштани самаранокии металлизатсия ва кам кардани хароҷот барои тиҷоратикунонии технологияи TGV муҳим аст.
№5 Zhenhua Vacuum's TGV Glass PVD Таҷҳизоти молидани - Coater уфуқӣ Coater In-line
Афзалиятҳои таҷҳизот:
1. Истисноии Glass Through-Hole Технологияи молидани металлизатсия
Технологияи хусусии молидани шишаи металлизатсияи Zhenhua Vacuum метавонад шишаро бо таносуби то 10:1, ҳатто барои диафрагмаҳои хурди то 30 микрон идора кунад.
2. Фармоишшаванда барои андозаҳои гуногун
Субстратҳои шишагии андозаҳои гуногунро дастгирӣ мекунад, аз ҷумла 600 × 600 мм, 510 × 515 мм ё калонтар.
3. Фасли раванд
Мутобиқ бо маводи борик-плёнка, ба монанди Cu, Ti, W, Ni, ва Pt, ки ба талаботи гуногуни татбиқ барои ноқилӣ ва муқовимат ба зангзанӣ ҷавобгӯ мебошанд.
4. Иҷрои устувор ва нигоҳдории осон
Бо системаи идоракунии интеллектуалӣ барои танзими автоматии параметрҳо ва мониторинги якрангии ғафсии филм дар вақти воқеӣ муҷаҳҳаз шудааст. Тарҳрезии модулӣ нигоҳдории осон ва кам кардани вақти бекориро таъмин мекунад.
Доираи татбиқ: Барои бастабандии пешрафтаи TGV/TSV/TMV мувофиқ аст, он метавонад ба қабати тухмии сӯрохӣ бо таносуби чуқурии сӯрохи ≥ 10: 1 ноил шавад.
-Ин мақоларо нашр кардаастTGV Glass тавассути сӯрохи молидани мошин ИстеҳсолкунандаЧжэнхуа чангкашак
Вақти фиристодан: Мар-07-2025