1.Ion чӯберо, ки бо ёрии таҳшинкунӣ асосан чӯбҳои ионҳои энергияи камро барои кӯмак дар тағир додани сатҳи мавод истифода мебаранд.
(1) Хусусиятҳои таҳшиншавии ионҳо
Дар ҷараёни рӯйпӯшкунӣ, зарраҳои плёнкаи ҷойгиршуда пайваста бо ионҳои заряднок аз манбаи ионҳо дар рӯи субстрат ҳангоми бо шуоъҳои ионҳои заряднок пӯшонида мешаванд.
(2) Нақши таҳшиншавии ионҳо
Ионҳои энергияи баланд заррачаҳои плёнкаи озод басташударо дар ҳар лаҳза бомбаборон мекунанд; Бо интиқоли энергия, зарраҳои ҷойгиршуда энергияи кинетикии зиёдтар мегиранд ва ба ин васила қонуни ядрошавӣ ва афзоишро беҳтар мекунанд; Дар ҳар вақт ба бофтаи мембрана таъсири фишурда эҷод кунед, ки филмро зичтар афзоиш медиҳад; Агар ионҳои гази реактивӣ ворид карда шаванд, дар сатҳи мавод як қабати пайвастаи стехиометрӣ ба вуҷуд омада метавонад ва байни қабати мураккаб ва субстрат интерфейс мавҷуд нест.
2. Сарчашмаи ион барои ҷойгиркунии нури ион
Хусусияти таҳшиншавии чӯби ионӣ дар он аст, ки атомҳои қабати плёнка (заррачаҳои таҳшиншавӣ) пайваста бо ионҳои энергияи кам аз манбаи ион дар рӯи субстрат бомбаборон карда мешаванд, ки сохтори плёнкаро хеле зич мекунад ва кори қабати плёнкаро беҳтар мекунад. Энергияи E шуои ион ≤ 500эВ аст. Манбаъҳои ионҳои маъмулан истифодашаванда инҳоянд: манбаи ионҳои Кауффман, манбаи ионҳои Хол, манбаи ионҳои қабати анод, манбаи ионҳои катодҳои холӣ, манбаи ионҳои радиобасомад ва ғайра.
Вақти фиристодан: июн-30-2023