Пӯшидани реактивии магнетронӣ маънои онро дорад, ки гази реактивӣ барои реаксия бо зарраҳои пошида дар ҷараёни пошидан барои тавлиди филми мураккаб дода мешавад. Он метавонад дар як вақт гази реактивиро барои реаксия бо ҳадафи пайвастаи пошхӯранда таъмин кунад ва инчунин метавонад гази реактивиро барои реаксия бо металли пошида ё ҳадафи хӯлаи ҳамзамон таъмин кунад, то филми мураккабро бо таносуби химиявии додашуда омода кунад.
(1) Маводҳои мавриди ҳадаф, ки барои пошидани реактивии магнетронӣ (ҳадафҳои ягона ё ҳадафи бисёрэлементӣ) ва газҳои реаксия истифода мешаванд, ба осонӣ ба даст овардани тозагии баланд мебошанд, ки барои тайёр кардани филмҳои мураккаби тозагӣ мусоид аст.
(2) Ҳангоми пошидани реактивии магнитрон бо роҳи танзими параметрҳои раванди таҳшинкунӣ, таносуби кимиёвӣ ё таносуби ғайрихимиявии филмҳои мураккабро метавон омода кард, то ба ҳадафи танзими хусусиятҳои филм тавассути танзими таркиби филм ноил шавад.
(3) Дар ҷараёни таҳшинсозии реактивии магнетронӣ ҳарорати субстрат умуман он қадар баланд нест ва раванди ташаккули филм одатан талаб намекунад, ки субстрат то ҳарорати хеле баланд тафсон шавад, бинобар ин дар маводи субстрат маҳдудиятҳои камтар вуҷуд доранд.
(4) Пӯшидани реактивии магнетронӣ барои тайёр кардани филмҳои тунуки якхела дар майдони васеъ мувофиқ аст ва метавонад ба истеҳсоли саноатӣ бо истеҳсоли солонаи як миллион метри мураббаъ рӯйпӯш аз як мошини ягона ноил шавад. Дар бисёр мавридҳо табиати плёнкаро бо роҳи танҳо тағйир додани таносуби гази реактивӣ ба гази инертӣ ҳангоми пошидан тағйир додан мумкин аст. Масалан, плёнкаро аз металл ба нимноқил ё ғайриметаллӣ иваз кардан мумкин аст.
——Ин макола дорадистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа озод карда шуд
Вақти фиристодан: 31-август-2023