అయాన్ పుంజం సహాయక నిక్షేపణ మరియు తక్కువ శక్తి అయాన్ మూలం

1.అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ ప్రధానంగా పదార్థాల ఉపరితల మార్పులో సహాయపడటానికి తక్కువ శక్తి అయాన్ కిరణాలను ఉపయోగిస్తుంది.

(1) అయాన్ సహాయక నిక్షేపణ యొక్క లక్షణాలు

పూత ప్రక్రియలో, జమ చేయబడిన ఫిల్మ్ కణాలు చార్జ్డ్ అయాన్ కిరణాలతో పూత పూయబడుతున్నప్పుడు, ఉపరితల ఉపరితలంపై ఉన్న అయాన్ మూలం నుండి చార్జ్డ్ అయాన్ల ద్వారా నిరంతరం బాంబు దాడి చేయబడతాయి.

(2) అయాన్ సహాయక నిక్షేపణ పాత్ర

అధిక శక్తి అయాన్లు ఎప్పుడైనా వదులుగా బంధించబడిన ఫిల్మ్ కణాలపై దాడి చేస్తాయి; శక్తిని బదిలీ చేయడం ద్వారా, జమ చేయబడిన కణాలు ఎక్కువ గతి శక్తిని పొందుతాయి, తద్వారా న్యూక్లియేషన్ మరియు పెరుగుదల నియమాన్ని మెరుగుపరుస్తాయి; ఏ సమయంలోనైనా పొర కణజాలంపై సంపీడన ప్రభావాన్ని ఉత్పత్తి చేస్తాయి, ఫిల్మ్ మరింత దట్టంగా పెరుగుతుంది; రియాక్టివ్ గ్యాస్ అయాన్లను ఇంజెక్ట్ చేస్తే, పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై స్టోయికియోమెట్రిక్ సమ్మేళన పొర ఏర్పడుతుంది మరియు సమ్మేళన పొర మరియు ఉపరితలం మధ్య ఎటువంటి ఇంటర్‌ఫేస్ ఉండదు.

2. అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ కోసం అయాన్ మూలం

అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ యొక్క లక్షణం ఏమిటంటే, ఫిల్మ్ లేయర్ అణువులు (డిపాజిషన్ పార్టికల్స్) సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఉన్న అయాన్ సోర్స్ నుండి తక్కువ శక్తి అయాన్‌ల ద్వారా నిరంతరం బాంబు దాడి చేయబడతాయి, ఇది ఫిల్మ్ స్ట్రక్చర్‌ను చాలా దట్టంగా చేస్తుంది మరియు ఫిల్మ్ లేయర్ పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది. అయాన్ బీమ్ యొక్క శక్తి E ≤ 500eV. సాధారణంగా ఉపయోగించే అయాన్ మూలాలు: కౌఫ్‌మన్ అయాన్ సోర్స్, హాల్ అయాన్ సోర్స్, ఆనోడ్ లేయర్ అయాన్ సోర్స్, హాలో కాథోడ్ హాల్ అయాన్ సోర్స్, రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ అయాన్ సోర్స్, మొదలైనవి.