రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ అంటే స్పట్టరింగ్ ప్రక్రియలో స్పట్టరింగ్ చేయబడిన కణాలతో చర్య జరిపి సమ్మేళన ఫిల్మ్ను ఉత్పత్తి చేయడానికి రియాక్టివ్ వాయువు సరఫరా చేయబడుతుంది. ఇది స్పట్టరింగ్ సమ్మేళన లక్ష్యంతో ఒకే సమయంలో చర్య తీసుకోవడానికి రియాక్టివ్ వాయువును సరఫరా చేయగలదు మరియు ఇచ్చిన రసాయన నిష్పత్తితో సమ్మేళన చిత్రంను సిద్ధం చేయడానికి అదే సమయంలో స్పట్టరింగ్ మెటల్ లేదా అల్లాయ్ టార్గెట్తో చర్య తీసుకోవడానికి రియాక్టివ్ వాయువును కూడా సరఫరా చేయగలదు. సమ్మేళన చిత్రాలను సిద్ధం చేయడానికి రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ యొక్క లక్షణాలు:
(1) రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ (సింగిల్ ఎలిమెంట్ టార్గెట్ లేదా మల్టీ-ఎలిమెంట్ టార్గెట్) మరియు రియాక్షన్ వాయువుల కోసం ఉపయోగించే టార్గెట్ మెటీరియల్స్ అధిక స్వచ్ఛతను పొందడం సులభం, ఇది అధిక-స్వచ్ఛత సమ్మేళన చిత్రాల తయారీకి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
(2) రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్లో, నిక్షేపణ ప్రక్రియ పారామితులను సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా, సమ్మేళనం ఫిల్మ్ల యొక్క రసాయన నిష్పత్తి లేదా రసాయనేతర నిష్పత్తిని తయారు చేయవచ్చు, తద్వారా ఫిల్మ్ యొక్క కూర్పును సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా ఫిల్మ్ లక్షణాలను నియంత్రించే ఉద్దేశ్యాన్ని సాధించవచ్చు.
(3) రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ డిపాజిషన్ ప్రక్రియలో సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ఉష్ణోగ్రత సాధారణంగా చాలా ఎక్కువగా ఉండదు మరియు ఫిల్మ్ ఫార్మింగ్ ప్రక్రియకు సాధారణంగా సబ్స్ట్రేట్ను చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలకు వేడి చేయవలసిన అవసరం లేదు, కాబట్టి సబ్స్ట్రేట్ పదార్థంపై తక్కువ పరిమితులు ఉంటాయి.
(4) రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ అనేది పెద్ద-ప్రాంత సజాతీయ సన్నని ఫిల్మ్ల తయారీకి అనుకూలంగా ఉంటుంది మరియు ఒకే యంత్రం నుండి వార్షిక ఉత్పత్తి అయిన ఒక మిలియన్ చదరపు మీటర్ల పూతతో పారిశ్రామిక ఉత్పత్తిని సాధించగలదు. చాలా సందర్భాలలో, స్పుట్టరింగ్ సమయంలో రియాక్టివ్ వాయువు మరియు జడ వాయువు నిష్పత్తిని మార్చడం ద్వారా ఫిల్మ్ యొక్క స్వభావాన్ని మార్చవచ్చు. ఉదాహరణకు, ఫిల్మ్ను మెటల్ నుండి సెమీకండక్టర్ లేదా నాన్-మెటల్గా మార్చవచ్చు.
——ఈ వ్యాసంలోవాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా విడుదలైంది
పోస్ట్ సమయం: ఆగస్టు-31-2023