TGV கண்ணாடி துளை பூச்சு தொழில்நுட்பம்: சந்தை வாய்ப்புகள் மற்றும் செயல்முறை சவால்கள்

எண்.1 TGV கண்ணாடி துளை பூச்சு தொழில்நுட்ப கண்ணோட்டம்
TGV கண்ணாடி துளை பூச்சு வளர்ந்து வரும் நுண் மின்னணு பேக்கேஜிங் தொழில்நுட்பமாகும், இது கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகளில் துளைகளை உருவாக்கி அவற்றின் உள் சுவர்களை உலோகமயமாக்கி அதிக அடர்த்தி கொண்ட மின் இணைப்புகளை அடைகிறது. பாரம்பரிய TSV (சிலிக்கான் வழியாக) மற்றும் கரிம அடி மூலக்கூறுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​TGV கண்ணாடி குறைந்த சமிக்ஞை இழப்பு, அதிக வெளிப்படைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை போன்ற நன்மைகளை வழங்குகிறது. இந்த பண்புகள் TGV ஐ 5G தொடர்பு, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பேக்கேஜிங், MEMS சென்சார்கள் மற்றும் பலவற்றில் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக ஆக்குகின்றன.

எண்.2 சந்தை வாய்ப்புகள்: TGV கண்ணாடி ஏன் கவனத்தைப் பெறுகிறது?
உயர் அதிர்வெண் தொடர்பு, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் தொழில்நுட்பங்களின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், TGV கண்ணாடிக்கான தேவை சீராக அதிகரித்து வருகிறது:

5G மற்றும் மில்லிமீட்டர்-அலை தொடர்பு: TGV கண்ணாடியின் குறைந்த-இழப்பு பண்புகள், ஆண்டெனாக்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள் போன்ற உயர் அதிர்வெண் RF சாதனங்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன.

ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பேக்கேஜிங்: கண்ணாடியின் அதிக வெளிப்படைத்தன்மை சிலிக்கான் ஃபோட்டானிக்ஸ் மற்றும் லிடார் போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு சாதகமானது.

MEMS சென்சார் பேக்கேஜிங்: TGV கண்ணாடி உயர் அடர்த்தி கொண்ட இடைத்தொடர்புகளை செயல்படுத்துகிறது, சென்சார்களின் மினியேட்டரைசேஷன் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்: சிப்லெட் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியுடன், TGV கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகள் அதிக அடர்த்தி கொண்ட பேக்கேஜிங்கில் குறிப்பிடத்தக்க ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளன.

எண்.3 TGV கண்ணாடி PVD பூச்சு விரிவான செயல்முறை
TGV கண்ணாடி PVD பூச்சு உலோகமயமாக்கல் என்பது மின் இணைப்புகளை அடைய வயாஸின் உள் சுவர்களில் கடத்தும் பொருட்களை வைப்பதை உள்ளடக்குகிறது. வழக்கமான செயல்முறை ஓட்டத்தில் பின்வருவன அடங்கும்:

1. துளை உருவாக்கம் மூலம் TGV கண்ணாடி: லேசர் துளையிடுதல் (UV/CO₂ லேசர்கள்), ஈரமான பொறித்தல் அல்லது உலர் பொறித்தல் ஆகியவை TGV வழிகளை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதைத் தொடர்ந்து சுத்தம் செய்யப்படுகின்றன.

2. மேற்பரப்பு சிகிச்சை: கண்ணாடிக்கும் உலோகமயமாக்கல் அடுக்குக்கும் இடையிலான ஒட்டுதலை அதிகரிக்க பிளாஸ்மா அல்லது வேதியியல் சிகிச்சை பயன்படுத்தப்படுகிறது.

3. விதை அடுக்கு படிவு: PVD (இயற்பியல் நீராவி படிவு) அல்லது CVD (வேதியியல் நீராவி படிவு) என்பது துளை சுவர்கள் வழியாக கண்ணாடி மீது உலோக விதை அடுக்கை (எ.கா., தாமிரம், டைட்டானியம்/தாமிரம், பல்லேடியம்) படிவு செய்யப் பயன்படுகிறது.

4. மின்முலாம் பூசுதல்: குறைந்த எதிர்ப்பு இடைத்தொடர்புகளை அடைய மின்முலாம் பூசுதல் மூலம் கடத்தும் செம்பு விதை அடுக்கில் படிவு செய்யப்படுகிறது.

5. சிகிச்சைக்குப் பிறகு: அதிகப்படியான உலோகம் அகற்றப்பட்டு, நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த மேற்பரப்பு செயலற்ற தன்மை செய்யப்படுகிறது.

எண்.4 செயல்முறை சவால்கள்: TGV கண்ணாடி ஆழமான துளை பூச்சு இயந்திரத்தின் சவால்கள்

அதன் நம்பிக்கைக்குரிய வாய்ப்புகள் இருந்தபோதிலும், TGV கண்ணாடி ஆழமான துளை பூச்சு இயந்திரம் பல தொழில்நுட்ப சவால்களை எதிர்கொள்கிறது:

1. TGV கண்ணாடி ஆழமான துளை பூச்சுகளின் சீரான தன்மை: அதிக விகித விகிதங்களைக் கொண்ட (5:1 முதல் 10:1 வரை) கண்ணாடி ஆழமான துளைகள் பெரும்பாலும் நுழைவாயிலில் உலோகக் குவிப்பு மற்றும் கீழே போதுமான அளவு நிரப்பப்படாமல் பாதிக்கப்படுகின்றன.

2. விதை அடுக்கு படிவு: கண்ணாடி ஒரு மின்கடத்தாப் பொருளாகும், இதனால் உயர்தர கடத்தும் விதை அடுக்கை வழிச் சுவர்களில் வைப்பது சவாலானது.
3. அழுத்தக் கட்டுப்பாடு: உலோகம் மற்றும் கண்ணாடியின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகங்களில் உள்ள வேறுபாடுகள் சிதைவு அல்லது விரிசலுக்கு வழிவகுக்கும்.

4. கண்ணாடி ஆழமான துளை பூச்சு அடுக்குகளின் ஒட்டுதல்: கண்ணாடியின் மென்மையான மேற்பரப்பு பலவீனமான உலோக ஒட்டுதலுக்கு வழிவகுக்கிறது, இது உகந்த மேற்பரப்பு சிகிச்சை செயல்முறைகளை அவசியமாக்குகிறது.

5. பெருமளவிலான உற்பத்தி மற்றும் செலவுக் கட்டுப்பாடு: TGV தொழில்நுட்பத்தின் வணிகமயமாக்கலுக்கு உலோகமயமாக்கல் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல் மற்றும் செலவுகளைக் குறைத்தல் ஆகியவை மிக முக்கியமானவை.

எண்.5 ஜென்ஹுவா வெற்றிடத்தின் TGV கண்ணாடி PVD பூச்சு உபகரண தீர்வு - கிடைமட்ட பூச்சு இன்-லைன் கோட்டர்

உபகரண நன்மைகள்:
1. பிரத்யேக கண்ணாடி துளை உலோகமயமாக்கல் பூச்சு தொழில்நுட்பம்
ஜென்ஹுவா வெற்றிடத்தின் தனியுரிம கிளாஸ் த்ரூ-ஹோல் மெட்டலைசேஷன் கோட்டிங் தொழில்நுட்பம், 30 மைக்ரான்கள் வரை சிறிய துளைகளுக்குக் கூட, 10:1 வரையிலான தோற்ற விகிதங்களைக் கொண்ட கிளாஸ் த்ரூ-ஹோலைக் கையாள முடியும்.

2. வெவ்வேறு அளவுகளுக்குத் தனிப்பயனாக்கக்கூடியது
600×600மிமீ, 510×515மிமீ அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட அளவுகள் உட்பட பல்வேறு அளவுகளின் கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கிறது.

3. செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மை
Cu, Ti, W, Ni, மற்றும் Pt போன்ற கடத்தும் அல்லது செயல்பாட்டு மெல்லிய-படலப் பொருட்களுடன் இணக்கமானது, கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான பல்வேறு பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

4. நிலையான செயல்திறன் மற்றும் எளிதான பராமரிப்பு
தானியங்கி அளவுரு சரிசெய்தல் மற்றும் படத் தடிமன் சீரான தன்மையை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிப்பதற்கான அறிவார்ந்த கட்டுப்பாட்டு அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. மாடுலர் வடிவமைப்பு எளிதான பராமரிப்பு மற்றும் குறைக்கப்பட்ட செயலிழப்பு நேரத்தை உறுதி செய்கிறது.

பயன்பாட்டு நோக்கம்: TGV/TSV/TMV மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கிற்கு ஏற்றது, இது துளை ஆழ விகிதம் ≥ 10:1 உடன் துளை விதை அடுக்கு பூச்சு மூலம் அடைய முடியும்.

–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுTGV கண்ணாடி துளை பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்ஜென்ஹுவா வெற்றிடம்