அயன் கற்றை உதவி படிவு மற்றும் குறைந்த ஆற்றல் அயனி மூலம்

1. அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் முக்கியமாக பொருட்களின் மேற்பரப்பு மாற்றத்திற்கு உதவ குறைந்த ஆற்றல் அயன் கற்றைகளைப் பயன்படுத்துகிறது.

(1) அயனி உதவி படிவின் பண்புகள்

பூச்சு செயல்பாட்டின் போது, ​​படிந்த படலத் துகள்கள், சார்ஜ் செய்யப்பட்ட அயனி கற்றைகளால் பூசப்படும் அதே வேளையில், அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் உள்ள அயனி மூலத்திலிருந்து வரும் சார்ஜ் செய்யப்பட்ட அயனிகளால் தொடர்ந்து தாக்கப்படுகின்றன.

(2) அயனி உதவி படிவின் பங்கு

அதிக ஆற்றல் அயனிகள் எந்த நேரத்திலும் தளர்வாக பிணைக்கப்பட்ட படலத் துகள்களைத் தாக்குகின்றன; ஆற்றலை மாற்றுவதன் மூலம், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட துகள்கள் அதிக இயக்க ஆற்றலைப் பெறுகின்றன, இதன் மூலம் அணுக்கரு மற்றும் வளர்ச்சி விதியை மேம்படுத்துகின்றன; எந்த நேரத்திலும் சவ்வு திசுக்களில் ஒரு சுருக்க விளைவை உருவாக்கி, படலம் மிகவும் அடர்த்தியாக வளரச் செய்கிறது; எதிர்வினை வாயு அயனிகள் செலுத்தப்பட்டால், பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒரு ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் கலவை அடுக்கு உருவாகலாம், மேலும் கலவை அடுக்குக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையில் எந்த இடைமுகமும் இல்லை.

2. அயனி கற்றை உதவியுடன் படிவதற்கான அயனி மூலம்

அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவுறுதலுக்கான சிறப்பியல்பு என்னவென்றால், படல அடுக்கு அணுக்கள் (படிவுத் துகள்கள்) அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் உள்ள அயனி மூலத்திலிருந்து குறைந்த ஆற்றல் அயனிகளால் தொடர்ந்து தாக்கப்படுகின்றன, இதனால் படல அமைப்பு மிகவும் அடர்த்தியாகி படல அடுக்கின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. அயன் கற்றையின் ஆற்றல் E ≤ 500eV ஆகும். பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் அயனி மூலங்கள் பின்வருமாறு: காஃப்மேன் அயன் மூலம், ஹால் அயன் மூலம், அனோட் அடுக்கு அயன் மூலம், வெற்று கேத்தோடு ஹால் அயன் மூலம், ரேடியோ அதிர்வெண் அயன் மூலம், முதலியன.