Kunyunyiza kwa sumaku tendaji kunamaanisha kuwa gesi tendaji hutolewa ili kuitikia na chembe zilizotawanyika katika mchakato wa kunyunyiza ili kutoa filamu kiwanja. Inaweza kutoa gesi tendaji ili kuguswa na shabaha ya kiwanja cha kunyunyiza kwa wakati mmoja, na pia inaweza kutoa gesi tendaji ili kuitikia na shabaha ya chuma inayomwagika au aloi kwa wakati mmoja ili kuandaa filamu ya mchanganyiko yenye uwiano fulani wa kemikali.
(1) Nyenzo lengwa zinazotumiwa kwa unyunyizaji tendaji wa magnetron (lengo la kipengele kimoja au shabaha ya vipengele vingi) na gesi za athari ni rahisi kupata usafi wa hali ya juu, ambao unafaa kwa utayarishaji wa filamu zenye ubora wa juu.
(2) Katika tendaji sumaku sputtering, kwa kurekebisha vigezo mchakato utuaji, uwiano wa kemikali au uwiano yasiyo ya kemikali ya filamu kiwanja inaweza kuwa tayari, ili kufikia lengo la kudhibiti sifa za filamu kwa kurekebisha muundo wa filamu.
(3) Halijoto ya substrate kwa ujumla si ya juu sana wakati wa mchakato wa utuaji tendaji wa magnetron sputtering, na mchakato wa kutengeneza filamu kwa kawaida hauhitaji substrate kuwashwa kwa joto la juu sana, kwa hiyo kuna vikwazo vichache kwenye nyenzo ya substrate.
(4) Kunyunyiza kwa sumaku tendaji kunafaa kwa ajili ya utayarishaji wa filamu nyembamba zenye usawa wa eneo kubwa, na kunaweza kufikia uzalishaji wa kiviwanda na pato la kila mwaka la mita za mraba milioni moja za mipako kutoka kwa mashine moja. Mara nyingi, asili ya filamu inaweza kubadilishwa kwa kubadilisha tu uwiano wa gesi tendaji kwa gesi ajizi wakati wa sputtering. Kwa mfano, filamu inaweza kubadilishwa kutoka kwa chuma hadi semiconductor au isiyo ya chuma.
——Makala hii inamtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua iliyotolewa
Muda wa kutuma: Aug-31-2023