Reactive magnetron sputtering e bolela hore khase e sebetsang e fanoa hore e sebetsane le likaroloana tse phunyeletsoeng nakong ea ho sputtering ho hlahisa filimi e kopantsoeng. E ka fana ka khase e sebetsang ho itšoara ka sepheo sa motsoako oa sputtering ka nako e le 'ngoe,' me e ka boela ea fana ka khase e sebetsang ho itšoara ka tšepe ea sputtering kapa alloy target ka nako e le 'ngoe ho lokisetsa filimi e kopantsoeng ka tekanyo ea lik'hemik'hale tse fanoeng.
(1) Lisebelisoa tse shebiloeng tse sebelisoang bakeng sa ho phatloha ha magnetron (sepheo sa ntho e le 'ngoe kapa sepheo sa lintho tse ngata) le likhase tse arabelang li bonolo ho fumana bohloeki bo phahameng, bo loketseng ho lokisoa ha lifilimi tse nang le bohloeki bo phahameng.
(2) Ho reactive magnetron sputtering, ka ho fetola litekanyetso tsa ts'ebetso ea deposition, karo-karolelano ea lik'hemik'hale kapa karo-karolelano ea lik'hemik'hale tsa lifilimi tse kopantsoeng li ka lokisoa, e le ho finyella morero oa ho laola litšobotsi tsa filimi ka ho fetola sebopeho sa filimi.
(3) Thempereichara ea substrate ka kakaretso ha e phahame haholo nakong ea ts'ebetso ea ho betla magnetron sputtering, mme mokhoa oa ho etsa filimi hangata ha o hloke hore substrate e futhumatsoe ho mocheso o phahameng haholo, kahoo ho na le lithibelo tse fokolang holim'a thepa ea substrate.
(4) Reactive magnetron sputtering e loketse ho lokisoa ha lifilimi tse tšesaane tsa sebaka se seholo, 'me e ka fihlela tlhahiso ea indasteri ka tlhahiso ea selemo le selemo ea lisekoere-mithara tse milione ho tsoa mochining o le mong. Maemong a mangata, sebopeho sa filimi se ka fetoloa ka ho fetola feela karo-karolelano ea khase e sebetsang ho khase e sa sebetseng nakong ea ho fafatsa. Ka mohlala, filimi e ka fetoloa ho tloha tšepe ho ea ho semiconductor kapa ho se tšepe.
——Sehlooho sena se na lemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua lokolloa
Nako ea poso: Aug-31-2023