Преглед технологије премазивања кроз рупе за стакло бр. 1 код TGV возила
Премаз кроз рупу за стакло TGV-а је нова технологија микроелектронског паковања која укључује стварање пролазних рупа у стакленим подлогама и метализацију њихових унутрашњих зидова како би се постигле електричне међусобне везе високе густине. У поређењу са традиционалним TSV (Through Silicon Via) и органским подлогама, TGV стакло нуди предности као што су мали губитак сигнала, висока транспарентност и одлична термичка стабилност. Ова својства чине TGV погодним за примене у 5G комуникацији, оптоелектронском паковању, MEMS сензорима и још много тога.
Бр. 2 Тржишне перспективе: Зашто TGV стакло привлачи пажњу?
Са брзим развојем високофреквентне комуникације, оптоелектронске интеграције и напредних технологија паковања, потражња за ТГВ стаклом стално расте:
5G и милиметарска комуникација: Карактеристике малих губитака TGV стакла чине га идеалним за високофреквентне РФ уређаје као што су антене и филтери.
Оптоелектронско паковање: Висока транспарентност стакла је предност за примене попут силицијумске фотонике и ЛиДАР-а.
Паковање MEMS сензора: TGV стакло омогућава међусобне везе високе густине, побољшавајући минијатуризацију и перформансе сензора.
Напредно полупроводничко паковање: Са порастом чиплет технологије, стаклене подлоге за ТГВ имају значајан потенцијал у паковању високе густине.
Бр. 3 Детаљан процес PVD премаза за TGV стакло
Метализација TGV стакленог PVD премаза подразумева наношење проводљивих материјала на унутрашње зидове отвора како би се постигле електричне међусобне везе. Типичан ток процеса укључује:
1. Формирање отвора кроз стакло TGV: За стварање пролаза TGV користи се ласерско бушење (UV/CO₂ ласери), мокро нагризање или суво нагризање, након чега следи чишћење.
2. Површинска обрада: Плазма или хемијска обрада се примењује ради побољшања адхезије између стакла и слоја метализације.
3. Таложење слоја семена: PVD (физичко таложење из паре) или CVD (хемијско таложење из паре) се користи за таложење слоја металног семена (нпр. бакра, титанијума/бакра, паладијума) на зидовима стакла кроз отворе.
4. Галванизација: Проводни бакар се наноси на слој семена галванизацијом како би се постигле међусобне везе ниског отпора.
5. Након третмана: Вишак метала се уклања, а површинска пасивација се врши ради побољшања поузданости.
Бр. 4 Изазови процеса: Изазови машине за дубоко рупање стакла TGV
Упркос обећавајућим изгледима, машина за дубоко премазивање стакла TGV суочава се са неколико техничких изазова:
1. Једнообразност премаза дубоких рупа код TGV стакла: Дубоке рупе у стаклу са високим односом ширине и висине (5:1 до 10:1) често пате од накупљања метала на улазу у отвор и недовољног попуњавања на дну.
2. Наношење слоја семена: Стакло је изолатор, што отежава наношење висококвалитетног проводљивог слоја семена на зидове отвора.
3. Контрола напона: Разлике у коефицијентима термичког ширења метала и стакла могу довести до савијања или пуцања.
4. Адхезија слојева премаза за дубоке рупе на стаклу: Глатка површина стакла резултира слабом адхезијом метала, што захтева оптимизоване процесе обраде површине.
5. Масовна производња и контрола трошкова: Побољшање ефикасности метализације и смањење трошкова су кључни за комерцијализацију ТГВ технологије.
Бр. 5 Zhenhua Vacuum-ово решење за опрему за PVD премазивање стакла TGV – хоризонтална линијско премазивање
Предности опреме:
1. Ексклузивна технологија метализационог премаза кроз рупу на стаклу
Технологија метализационог премаза за стакло кроз рупу компаније Zhenhua Vacuum може да обради стакло кроз рупу са односом ширине и висине до 10:1, чак и за ситне отворе величине само 30 микрона.
2. Прилагодљиво за различите величине
Подржава стаклене подлоге различитих величина, укључујући 600×600 мм, 510×515 мм или веће.
3. Флексибилност процеса
Компатибилан са проводљивим или функционалним танкослојним материјалима као што су Cu, Ti, W, Ni и Pt, испуњавајући различите захтеве примене за проводљивост и отпорност на корозију.
4. Стабилне перформансе и лако одржавање
Опремљен интелигентним системом управљања за аутоматско подешавање параметара и праћење уједначености дебљине филма у реалном времену. Модуларни дизајн обезбеђује лако одржавање и смањено време застоја.
Обим примене: Погодно за напредно паковање TGV/TSV/TMV, може постићи премаз слоја семена кроз рупу са односом дубине рупе ≥ 10:1.
–Овај чланак је објављен од странеПроизвођач машина за премазивање стакла кроз рупе за ТГВЖенхуа Вакуум
Време објаве: 07.03.2025.