1. Наношење уз помоћ јонског снопа углавном користи јонске снопове ниске енергије како би помогло у модификацији површине материјала.
(1) Карактеристике јонски потпомогнутог таложења
Током процеса наношења премаза, честице наталоженог филма се континуирано бомбардују наелектрисаним јонима из јонског извора на површини подлоге док се истовремено премазују наелектрисаним јонским сноповима.
(2) Улога јонски потпомогнутог таложења
Високоенергетски јони бомбардују лабаво везане честице филма у било ком тренутку; Преносом енергије, наталожене честице добијају већу кинетичку енергију, чиме се побољшава закон нуклеације и раста; Производе ефекат збијања на мембранско ткиво у било ком тренутку, чинећи да филм расте гушће; Ако се убризгају реактивни гасни јони, на површини материјала може се формирати стехиометријски слој једињења, и не постоји интерфејс између слоја једињења и подлоге.
2. Извор јона за таложење уз помоћ јонског снопа
Карактеристика таложења уз помоћ јонског снопа је да атоми слоја филма (честице таложења) бивају континуирано бомбардовани јонима ниске енергије из јонског извора на површини подлоге, чинећи структуру филма веома густом и побољшавајући перформансе слоја филма. Енергија E јонског снопа је ≤ 500eV. Уобичајено коришћени јонски извори укључују: Кауфманов јонски извор, Холов јонски извор, јонски извор анодног слоја, Холов јонски извор са шупљом катодом, радиофреквентни јонски извор итд.
Време објаве: 30. јун 2023.