1. Nanašanje z ionskim žarkom uporablja predvsem nizkoenergijske ionske žarke za pomoč pri modifikaciji površine materialov.
(1) Značilnosti nanašanja s pomočjo ionov
Med postopkom nanašanja premaza delce nanesenega filma nenehno bombardirajo nabiti ioni iz ionskega vira na površini substrata, medtem ko so prevlečeni z nabitimi ionskimi žarki.
(2) Vloga ionsko podprtega nanašanja
Visokoenergijski ioni kadar koli bombardirajo ohlapno vezane delce filma; s prenosom energije naneseni delci pridobijo večjo kinetično energijo, s čimer izboljšajo zakon nukleacije in rasti; kadar koli povzročijo učinek zbijanja na membransko tkivo, zaradi česar film raste gosteje; če se vbrizgajo reaktivni plinski ioni, se lahko na površini materiala tvori stehiometrična plast spojine, med plastjo spojine in podlago pa ni vmesnika.
2. Ionski vir za nanašanje s pomočjo ionskega žarka
Značilnost nanašanja z ionskim žarkom je, da atome filmske plasti (delce nanašanja) nenehno bombardirajo nizkoenergijski ioni iz ionskega vira na površini substrata, zaradi česar je filmska struktura zelo gosta in se izboljša delovanje filmske plasti. Energija E ionskega žarka je ≤ 500 eV. Pogosto uporabljeni ionski viri vključujejo: Kauffmanov ionski vir, Hallov ionski vir, ionski vir anodne plasti, Hallov ionski vir z votlo katodo, radiofrekvenčni ionski vir itd.
Čas objave: 30. junij 2023