Reaktivno magnetronsko razprševanje pomeni, da se med razprševanjem dovaja reaktivni plin, ki reagira z razpršenimi delci in tvori sestavljeni film. Lahko hkrati dovaja reaktivni plin, ki reagira s tarčo razpršene spojine, in lahko hkrati dovaja reaktivni plin, ki reagira s tarčo razpršene kovine ali zlitine, da se pripravi sestavljeni film z določenim kemijskim razmerjem. Značilnosti reaktivnega magnetronskega razprševanja za pripravo sestavljenih filmov so:
(1) Tarčni materiali, ki se uporabljajo za reaktivno magnetronsko razprševanje (tarča z enim elementom ali večelementna tarča), in reakcijski plini so enostavno dosegljivi z visoko čistostjo, kar je ugodno za pripravo visoko čistih sestavljenih filmov.
(2) Pri reaktivnem magnetronskem razprševanju se lahko s prilagajanjem parametrov postopka nanašanja pripravijo kemijsko ali nekemično razmerje sestavljenih filmov, da se doseže namen uravnavanja lastnosti filma z prilagajanjem sestave filma.
(3) Temperatura substrata med postopkom nanašanja z reaktivnim magnetronskim razprševanjem običajno ni previsoka, postopek tvorbe filma pa običajno ne zahteva segrevanja substrata na zelo visoke temperature, zato je glede materiala substrata manj omejitev.
(4) Reaktivno magnetronsko naprševanje je primerno za pripravo homogenih tankih filmov velike površine in omogoča industrializirano proizvodnjo z letno zmogljivostjo enega milijona kvadratnih metrov prevleke z enim samim strojem. V mnogih primerih je mogoče naravo filma spremeniti s preprosto spremembo razmerja med reaktivnim plinom in inertnim plinom med naprševanjem. Na primer, film se lahko spremeni iz kovinskega v polprevodniški ali nekovinski.
——Ta članek imaproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua izpuščen
Čas objave: 31. avg. 2023